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챔버(10)의 외측에 요홈을 형성하거나 챔버(10)의 내측을 통과하는 통로를 형성하여 상기 요홈 또는 상기 통로의 내측으로 입자가 분산된 유체가 통과할 수 있는 측정영역(13)을 구비하고 상기 측정영역(13)에 광선을 조사하여 상기 입자에 의한 산란광을 측정하고 측정된 산란광 신호를 입자의 농도로 변환하여 상기 입자의 농도를 측정하는 장치에 있어서,상기 측정영역(13)에 광선(21a)을 조사하는 광원(21);상기 측정영역(13)을 기준으로 상기 광원(21)의 반대쪽에 상기 광선(21a)의 조사 방향을 마주보도록 설치되어 상기 산란광을 굴절 및 집광시키는 집광렌즈(22);상기 광원(21) 반대쪽의 집광렌즈(22) 정후방에 상기 집광렌즈(22)와 이격되어 경사지게 설치되어 상기 집광렌즈(22)에 의해 굴절된 상기 산란광을 반사시키고, 상기 광원(21)에서 조사된 상기 광선(21a)을 통과시키는 구멍(23a)을 가진 평면거울(23);상기 평면거울(23)에서 반사된 산란광이 집중되는 위치에 설치되어 상기 입자에 의한 산란광 신호를 측정하는 광감지장치(24);상기 산란광이 집중된 위치와 광감지장치(24) 사이에 설치되어, 집중된 상기 산란광을 전달하는 광도파로(25);광선의 조사방향으로 측정영역 전방의 챔버(10) 내부에 설치되어 상기 광원(21)에서 조사되는 광선(21a)을 산란시키는 한 개 이상의 광선 산광기(28);회전 가능한 원판 몸체로 이루어지며, 상기 광선 산광기(28)를 원판 몸체의 내측에 지지 및 고정하여 원판 몸체의 회전 동작에 의해 상기 광선 산광기(28)가 상기 광선(21a)의 조사 방향으로 마주보는 면에 위치되도록 전환하는 전환판(29);상기 전환판(29)의 회전 동작을 구동하는 전환판 구동장치(30);상기 챔버(10)의 내부로 청정유체를 공급하는 청정유체 공급장치(32);상기 광선(21a)이 통과하도록 제1구멍(11a)이 형성되고 상기 챔버(10)의 몸체 일부를 이루며 상기 광원(21)과 측정영역(13) 사이의 상기 전환판(29) 후방측에 상기 전환판(29)과의 사이에서 청정유체가 통과할 수 있는 공간이 확보되도록 설치되어 상기 광선(21a)을 제1구멍(11a)으로 통과시키는 제1칸막이(11);상기 산란광이 통과하도록 제2구멍(12a)이 형성되고 상기 챔버(10)의 몸체 일부를 이루며 상기 측정영역(13)과 상기 집광렌즈(22) 사이에 설치되어 상기 산란광을 제2구멍(12a)으로 통과시키는 제2칸막이(12); 및상기 제2구멍(12a)을 둘러 감싸도록 제2칸막이(12)의 내측에 설치되고, 상기 집광렌즈(22)가 몸통의 내주면에 고정되며 상기 청정유체가 통과할 수 있는 다공성 부분(33a)이 구비된 경통(33);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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제1항에서,상기 광감지장치(24)와 상기 평면거울(23) 사이의 상기 산란광이 집중된 영역에 설치되어, 집중된 상기 산란광을 산란시키는 산란광 산광기(26);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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제1항에서,상기 광원(21)으로는 레이저를 사용하며,상기 광감지장치(24)와 상기 평면거울(23) 사이에 설치되어 상기 레이저 광의 파장 이외의 파장을 걸러주는 협대역 통과필터(27);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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제1항에서, 상기 전환판(29)은,상기 광선 산광기(28)가 설치된 원판 몸체의 일측에 광선(21a)이 통과하는 윈도우(31)를 설치 및 고정하여 원판 몸체의 회전 동작에 의해 상기 광선 산광기(28)와 윈도우(31) 중의 어느 하나가 상기 광선(21a)의 조사 방향으로 마주보는 면에 위치되도록 선택 전환하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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제1항에서, 상기 전환판 구동장치(30)는,모터 또는 유체로 구동되는 실린더인 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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제1항에서, 상기 다공성 부분(33a)은,다수의 원형 구멍이 형성되거나 다공질 재료인 것을 특징으로 하는 광산란을 이용한 입자측정장치
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