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a) 복수의 미세공이 관통 형성되는 탄성 다공막을 마련하는 단계; b) 상기 탄성 다공막의 일면에 증착되어 형성되고, 상기 미세공과 연결되는 연결공이 형성되는 전도성의 제1레이어가 마련되는 단계; c) 상기 미세공의 내측으로 복수의 미세 입자가 충진되는 단계; d) 상기 미세공의 내측으로 상기 미세 입자가 충진된 이외의 공간에 전도성 소재가 증착되어 채워지는 단계; e) 상기 복수의 미세 입자가 제거되어 상기 전도성 소재로 이루어지는 전도성 나노 기둥이 형성되는 단계; 그리고 f) 상기 탄성 다공막의 타면에 증착되어 형성되는 전도성의 제2레이어가 마련되는 단계를 포함하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 b) 단계에서 상기 연결공은 상기 미세공보다 작게 형성되고, 상기 d) 단계에서 상기 전도성 소재는 상기 미세공의 내측에서 상기 제1레이어의 상부에 상기 미세공의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 미세 입자는 전도성의 재질로 이루어지고, 상기 d) 단계에서 상기 전도성 소재는 상기 미세공의 내측에서 상기 제1레이어의 상부 및 상기 미세 입자의 표면에 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 e) 단계에서, 상기 미세공에 충진된 상기 복수의 미세 입자는 상기 미세공으로 공급되는 에칭액에 의해 에칭되어 상기 에칭액과 함께 상기 연결공을 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 e) 단계에서, 상기 전도성 나노 기둥은 상기 미세 입자가 제거된 공간을 가지도록 형성되는 다공성의 전도성 나노 기둥인 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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a) 복수의 미세공이 관통 형성되는 탄성 다공막을 마련하는 단계; b) 상기 탄성 다공막의 일면에 증착되어 형성되는 전도성의 제1레이어가 마련되는 단계; c) 상기 미세공의 내측으로 서로 다른 종류의 제1미세 금속 및 제2미세 금속이 증착되는 단계; d) 상기 제1미세 금속이 제거되어 나노 금속 기둥이 형성되는 단계; 그리고 e) 상기 탄성 다공막의 타면에 증착되어 형성되는 전도성의 제2레이어가 마련되는 단계를 포함하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 d) 단계에서, 상기 제1미세 금속은 상기 미세공으로 공급되는 에칭액에 의해 에칭되어 상기 에칭액과 함께 상기 미세공의 개방된 부분을 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 d) 단계에서, 상기 나노 금속 기둥은 상기 제1미세 금속이 제거된 공간을 가지는 다공성의 나노 금속 기둥으로 형성되는 것을 특징으로 하는 저항형 압력센서의 제조방법
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제1항 또는 제6항에 기재된 저항형 압력센서의 제조방법으로 제조되는 저항형 압력센서
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