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평판 형태로 형성되며, 두께 방향으로 관통 형성되는 복수 개의 모 공극이 형성되는 모 멤브레인;상단 및 하단을 통과하여 유체가 통과하는 자 공극이 형성되며, 서로 분리된 독립적인 개체로 형성되는 복수 개의 자 멤브레인;을 포함하여 이루어지며,복수 개의 상기 자 멤브레인이 상기 모 멤브레인 상에 무작위적으로 분산 배치되되, 복수 개의 상기 자 멤브레인의 하단이 복수 개의 상기 모 공극 각각에 삽입 결합되어,복수 개의 상기 자 멤브레인이 복수 개의 상기 모 공극에 끼워져 상기 모 공극을 막음으로써, 상기 자 멤브레인이 상기 자 공극으로 유체를 통과시키고 입자 또는 이상 유체를 걸러내는 역할을 하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 1항에 있어서, 상기 자 멤브레인은,자 멤브레인 상단 직경 및 자 멤브레인 하단 직경이 동일하게 형성되거나,상기 자 멤브레인 상단 직경이 상기 자 멤브레인 하단 직경보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 2항에 있어서, 상기 자 멤브레인은,상기 자 멤브레인 상단 직경이 상기 자 멤브레인 하단 직경보다 크게 형성되되,상기 자 멤브레인 상단 직경은 모 공극 평균 직경보다 크고, 상기 자 멤브레인 하단 직경은 상기 모 공극 평균 직경과 동일하거나 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 3항에 있어서, 상기 자 멤브레인은,상단으로부터 하단으로 테이퍼진 형태 또는 상단 측에 안착부가 형성되어 단차진 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 1항에 있어서, 상기 모 멤브레인은,모 공극 상단 직경 및 모 공극 하단 직경이 동일하게 형성되거나,상기 모 공극 상단 직경이 상기 모 공극 하단 직경보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 5항에 있어서, 상기 모 멤브레인은,상기 모 공극 상단 직경이 상기 모 공극 하단 직경보다 크게 형성되되,상단으로부터 하단으로 테이퍼진 형태 또는 상단 측에 안착홈이 형성되어 단차진 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 1항에 있어서, 상기 옴니 멤브레인은,평판 형태로 형성되며, 상기 모 멤브레인 상의 모 공극 위치에 상응하는 위치에 두께 방향으로 관통 형성되는 복수 개의 커버 공극이 형성되고, 상기 자 멤브레인이 삽입되는 상기 모 멤브레인의 상면에 덮여 상기 모 멤브레인과 결합되는 커버 멤브레인;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 7항에 있어서, 상기 커버 멤브레인은,하면에 완충층이 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 7항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 자 멤브레인이, 자 멤브레인 상단 직경 및 자 멤브레인 하단 직경이 동일하게 형성되고,상기 모 멤브레인이, 상단 측에 안착홈이 형성되어 단차진 형태로 형성되되, 상기 안착홈의 두께가 상기 자 멤브레인의 두께보다 크게 형성되고,상기 커버 멤브레인이, 상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인 결합 시 상기 자 멤브레인의 둘레를 눌러 고정하도록, 상기 안착홈에 상응하는 형태로 이루어지며 상기 커버 공극 둘레로부터 돌출된 형태로 형성되는 돌출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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10
제 7항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인의 가장자리측에 형성되어, 상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인을 결합 고정하는 결합부;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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11
제 10항에 있어서, 상기 결합부는,상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인을 관통하는 볼트부, 상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인의 적층체 외측으로 돌출된 상기 볼트부의 양단에 끼워지는 한 쌍의 너트부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 7항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인이 금속 재질로 이루어지며,상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인 간 전위차를 인가하는 전력부;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 12항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인의 가장자리측에 형성되어, 상기 커버 멤브레인 및 상기 모 멤브레인을 결합 고정하는 결합부;를 더 포함하여 이루어지며,상기 결합부 및 상기 커버 멤브레인의 접촉면 사이 및 상기 결합부 및 상기 모 멤브레인의 접촉면 사이에 개재되는 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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14
제 12항에 있어서, 상기 자 멤브레인은,외면에 전도성 재질로 된 전도층이 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 14항에 있어서, 상기 커버 멤브레인은,하면에 완충층이 형성되되, 상기 완충층에 전도성 입자 또는 파이버가 혼합되거나, 또는 상기 완충층의 재질이 전도성을 가지는 폴리머 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 1항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 모 공극의 크기가 10μm 내지 100mm 범위 내로 형성되며,상기 자 공극의 크기가 1nm 내지 100μm 범위 내로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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17
제 1항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 모 멤브레인의 두께가 10μm 내지 100mm 범위 내로 형성되며,상기 자 멤브레인의 두께가 1μm 내지 10mm 범위 내로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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제 1항에 있어서, 상기 상분리용 옴니 멤브레인은,상기 모 멤브레인 및 상기 자 멤브레인 각각의 표면 특성이 친수, 친유, 소수, 소유 중 선택되는 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인
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평판 형태의 모재에 복수 개의 모 공극이 두께 방향으로 관통 형성되어 모 멤브레인이 제작되는 모 멤브레인 제작 단계;상단 및 하단을 통과하여 유체가 통과하는 자 공극이 형성되며, 서로 분리된 독립적인 개체로 형성되는 복수 개의 자 멤브레인이 제작되는 자 멤브레인 제작 단계;상기 모 멤브레인의 상면에 복수 개의 자 멤브레인이 공급되어, 복수 개의 상기 자 멤브레인이 상기 모 멤브레인 상에 무작위적으로 분산 배치되는 결합 준비 단계;외력이 인가되어 복수 개의 상기 모 공극 각각에 복수 개의 상기 자 멤브레인의 하단이 삽입 결합되어, 복수 개의 상기 자 멤브레인이 복수 개의 상기 모 공극에 끼워져 상기 모 공극을 막음으로써, 상기 자 멤브레인이 상기 자 공극으로 유체를 통과시키고 입자 또는 이상 유체를 걸러내는 역할을 하도록 이루어지는 상분리옹 옴니 멤브레인 제작이 완료되는 외력 인가 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 외력 인가 단계는,상기 모 멤브레인에 진동이 인가됨으로써, 상기 자 멤브레인이 진동에 의해 방향 및 위치가 변경되어 상기 모 공극에 삽입되도록 이루어지거나,상기 모 멤브레인의 상측에서 하측으로 통과하는 유동이 형성됨으로써, 상기 자 멤브레인이 유동에 의해 방향 및 위치가 변경되어 상기 모 공극에 삽입되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 자 멤브레인 제작 단계는,상기 자 멤브레인 상단 직경이 상기 자 멤브레인 하단 직경보다 크게 형성되되, 상단 측에 안착부가 형성되어 단차진 형태로 형성되는 상기 자 멤브레인이 제작되도록,기판이 배치되는 단계;상기 기판 상에 희생층 및 감광층이 순차적으로 적층 형성되는 단계;상기 자 멤브레인 하단 단면 또는 단면 반전에 상응하는 형태의 패턴이 형성된 제1마스크를 통해 노광되어 1차 노광이 이루어지는 단계;상기 자 멤브레인 상단 단면 또는 단면 반전에 상응하는 형태의 패턴이 형성된 제2마스크를 통해 1차 노광보다 적은 노광량으로 노광되어 2차 노광이 이루어지는 단계;노광에 의해 경화된 부분 이외의 상기 감광층이 현상되어 제거되는 단계;상기 희생층이 제거되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 자 멤브레인 제작 단계는,상기 자 멤브레인 상단 직경이 상기 자 멤브레인 하단 직경보다 크게 형성되되, 상단 측에 안착부가 형성되어 단차진 형태로 형성되는 상기 자 멤브레인이 제작되도록,다공성 금속막이 배치되는 단계;상기 다공성 금속막 상면에 감광층이 형성되는 단계;상기 자 멤브레인 상단 단면 또는 단면 반전에 상응하는 형태의 패턴이 형성된 마스크를 통해 노광되는 단계;노광에 의해 경화된 부분 이외의 상기 감광층이 현상되어 제거되는 단계;상기 다공성 금속막 상면의 상기 자 멤브레인 상단 단면에 상응하는 영역에 상기 감광층 상측을 통해 보호제가 주입되고, 상기 다공성 금속막 하면 전체 영역에 상기 보호제가 도포되어 보호층이 형성되는 단계;상기 보호층 및 상기 감광층에 의해 보호되지 않은 부분의 상기 다공성 금속막이 식각되어 제거되는 단계;상기 보호층이 제거되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 자 멤브레인 제작 단계는,상기 자 멤브레인 상단 직경 및 상기 자 멤브레인 하단 직경이 동일하게 형성되는 상기 자 멤브레인이 제작되도록,기판이 배치되는 단계;상기 기판 상에 희생층 및 감광층이 순차적으로 적층 형성되는 단계;상기 자 멤브레인 단면 또는 단면 반전에 상응하는 형태의 패턴이 형성된 마스크를 통해 노광되는 단계;노광에 의해 경화된 부분 이외의 상기 감광층이 현상되어 제거되는 단계;상기 희생층이 제거되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 자 멤브레인 제작 단계는,상기 자 멤브레인 상단 직경 및 상기 자 멤브레인 하단 직경이 동일하게 형성되는 상기 자 멤브레인이 제작되도록,다공성 금속막이 배치되는 단계;상기 다공성 금속막 상면에 감광층이 형성되는 단계;상기 자 멤브레인 단면 또는 단면 반전에 상응하는 형태의 패턴이 형성된 마스크를 통해 노광되는 단계;노광에 의해 경화된 부분 이외의 상기 감광층이 현상되어 제거되는 단계;상기 다공성 금속막 하면 전체 영역에 보호제가 도포되어 보호층이 형성되는 단계;상기 보호층 및 상기 감광층에 의해 보호되지 않은 부분의 상기 다공성 금속막이 식각되어 제거되는 단계;상기 보호층 및 상기 감광층이 제거되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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제 19항에 있어서, 상기 모 멤브레인 제작 단계는,기계적 가공 또는 화학적 식각을 통해 상기 모재에 상기 모 공극이 형성되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상분리용 옴니 멤브레인의 제작 방법
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