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구형 챔버, 상기 구형 챔버에 설치되며 시료가 장착되는 시료 장착부,상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에 여기광을 조사하는 광 조사부,상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에서 발생한 광을 검출하는 광 검출부,상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 공급부, 그리고 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부의 온도 및 습도를 측정하는 온도 및 습도 측정기를 포함하고,상기 가스 공급부는 상기 구형 챔버를 관통하며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 유입부를 포함하고, 상기 가스 유입부는 상기 광 조사부와 이격되어 위치하며,상기 가스 유입부를 통해 상기 구형 챔버 내부로 유입되는 비활성 가스의 양은 상기 온도 및 습도 측정기에 의해 측정된 습도에 따라 변동되는 양자 효율 측정 장치
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제1항에서,상기 진공부는 상기 구형 챔버를 관통하는 진공 유입부, 상기 진공 유입부와 연결되며 상기 구형 챔버에 제1 진공 압력을 제공하는 제1 진공 펌프, 그리고상기 진공 유입부에 위치하며 상기 제1 진공 압력을 조절하는 제1 압력 조절 밸브를 포함하는 양자 효율 측정 장치
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제2항에서,상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력은 10-1 Torr 내지 10-3 Torr인 양자 효율 측정 장치
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제1항에서,상기 가스 공급부는 상기 비활성 가스를 저장하는 가스 저장부, 그리고상기 가스 저장부에서 상기 구형 챔버로 유입되는 가스의 양을 조절하는 가스 조절부를 포함하는 양자 효율 측정 장치
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제4항에서,상기 온도 및 습도 측정기에 의해 측정된 온도 및 습도에 따라 상기 가스 조절부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 양자 효율 측정 장치
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제2항에서,상기 시료는 고체 시료이고,상기 시료 장착부는상기 구형 챔버 내부에 위치하며 상기 시료를 지지하는 시료 지지부, 상기 시료 지지부에 제2 진공 압력을 제공하는 제2 진공 펌프, 그리고상기 제2 진공 압력을 조절하는 제2 압력 조절 밸브를 포함하는 양자 효율 측정 장치
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제7항에서,상기 제2 진공 펌프의 제2 진공 압력은 상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력보다 낮은 양자 효율 측정 장치
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제2항에서,상기 시료는 액체 시료이고,상기 시료 장착부는상기 시료를 공급하는 시료 공급부,상기 시료를 담는 시료 용기, 그리고상기 시료 용기와 상기 시료 공급부를 연결하는 연결부를 포함하는 양자 효율 측정 장치
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제9항에서,상기 연결부는 상기 구형 챔버를 관통하는 양자 효율 측정 장치
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