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금속 모재 상에 티타늄-지르코늄 질화물층을 형성하는 단계;상기 티타늄-지르코늄 질화물층 상에 탄소층을 형성하는 단계; 및상기 탄소층에 레이저를 조사하여 상기 티타늄-지르코늄 질화물층의 일부로 탄소가 첨가된 침탄층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 침탄층은탄소 고함량부; 및침탄 후에 잔류하는 티타늄-지르코늄 질화물층과 상기 탄소 고함량부 사이에 배치되고, 상기 탄소 고함량부보다 단위 면적당 탄소 함량이 적은 탄소 저함량부를 포함하는 것을 특징으로 하는,티타늄-지르코늄 질화물층 및 침탄층을 포함하는 고내열, 고경도 및 내마모성 코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 침탄층을 형성하는 단계는상기 탄소층에 펄스 또는 연속파 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 침탄층을 형성하는 단계는상기 탄소층 상에서 상기 금속 모재의 일단에서 타단까지 일 방향으로 레이저를 이동하면서 레이저 어블레이션을 수행하되,상기 일단에서 타단까지 이동하는 공정은 적어도 1회 이상 수행하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 침탄층은 탄화티타늄(TiC)을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 탄소 고함량부는 탄화티타늄(TiC)을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 침탄층을 형성하는 단계 후에 잔류하는 탄소층을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 탄소층을 형성하는 단계는상기 티타늄-지르코늄 질화물층 표면에 탄소층을 도포하는 단계; 및상기 도포된 탄소층을 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 탄소층은 흑연층인 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 티타늄-지르코늄 질화물층을 형성하기 전에 상기 금속 모재 상에 티타늄층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 티타늄-지르코늄 질화물층을 형성하는 공정에서 상기 티타늄층의 티타늄이 질화되어 질화티타늄(TiN)으로 이루어진 접착력 향상층이 형성되는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 티타늄-지르코늄 질화물층을 형성하는 단계는티타늄과 지르코늄을 포함하는 타겟 물질을 이용하여 물리적기상증착법(PVD)으로 수행하는 것을 특징으로 하는,코팅막의 형성 방법
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금속 모재 상에 형성된 티타늄-지르코늄 질화물층; 및상기 티타늄-지르코늄 질화물층 상에 배치되고, 침탄된 티타늄계 질화물을 포함하는 침탄층을 포함하고,상기 침탄층은탄소 고함량부; 및상기 티타늄-지르코늄 질화물층과 상기 탄소 고함량부 사이에 배치되고, 상기 탄소 고함량부보다 단위 면적당 탄소 함량이 적은 탄소 저함량부를 포함하는 것을 특징으로 하는,고내열, 고경도 및 저마찰 코팅막
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제12항에 있어서,상기 침탄층은 탄화티타늄(TiC)을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막
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제12항에 있어서,상기 탄소 고함량부는 탄화티타늄(TiC)을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막
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제12항에 있어서,상기 금속 모재와 상기 티타늄-지르코늄 질화물층 사이에 개재되고, 질화티타늄(TiN)을 포함하는 접착력 향상층이 더 형성된 것을 특징으로 하는,코팅막
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제12항에 있어서,상기 침탄된 티타늄계 질화물을 포함하는 침탄층은Ti1-xZrx(CyN1-y) [이때, 0003c#x003c#1, 0003c#y003c#1]로 나타내는 것을 특징으로 하는,코팅막
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제12항에 있어서,상기 침탄된 티타늄계 질화물은티타늄-지르코늄 질화물에 탄소가 치환형 및 침입형 중 적어도 어느 하나의 형태로 삽입된 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅막
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표면에 고내열, 고경도 및 저마찰 코팅막이 형성되되,상기 코팅막은티타늄-지르코늄 질화물층; 및상기 티타늄-지르코늄 질화물층 상에 배치되고, 표면이 탄화티타늄(TiC)을 포함하는 탄소 고함량부로 이루어지며, 상기 탄소 고함량부와 상기 티타늄-지르코늄 질화물층 사이에는 침탄된 티타늄계 질화물을 포함하되 상기 탄소 고함량부에 비해서 단위 면적당 탄소 함량이 낮은 탄소 저함량부가 배치된 침탄층을 포함하는 것을 특징으로 하는,절삭 공구
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제19항에 있어서,상기 코팅막의 하부에는 질화티타늄(TiN)을 포함하는 접착력 향상층이 더 형성된 것을 특징으로 하는,절삭 공구
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