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상면으로는 제1절연층이 충전되는 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트;상기 절연홈의 제1절연층 표면에 적층 또는, 패터닝됨과 더불어 온도를 측정하고자 하는 부위에 접점이 위치되도록 이루어진 열전대;상기 베이스 플레이트의 표면에 적층되며, 상기 베이스 플레이트의 표면으로부터 돌출된 열전대가 수용되면서 제2절연층으로 코팅하기 위한 공간을 제공하는 홈 또는, 홀의 구조로 이루어진 수용공간이 형성된 단차제거용 플레이트;상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층되며, 압력 측정을 위한 부위에 관통되는 제1연통홀 및 외측 끝단 부위에 관통되는 제2연통홀이 형성된 박판의 표면 플레이트;상기 단차제거용 플레이트와 상기 표면 플레이트 간의 대향면 사이에 형성됨과 더불어 양 끝단은 상기 표면 플레이트의 제1연통홀 및 제2연통홀에 각각 연통되도록 형성되면서 표면을 지나는 유체의 압력이 전달되는 마이크로채널;을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로채널은 상기 단차제거용 플레이트의 저면에 요입 형성되어 이루어짐을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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제 1 항에 있어서,상기 표면 플레이트에 형성되는 제1연통홀과 상기 열전대의 접점이 위치된 부위는 서로 인접하게 위치됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 형성되는 절연홈은 복수로 형성됨과 더불어 서로는 연결되지 않도록 회피되게 형성되고,상기 열전대는 복수로 제공되면서 상기 각각의 절연홈에 형성되는 제1절연층 표면에 각각 설치되며,상기 마이크로채널은 복수로 제공되면서 각각은 상기 각 절연홈과 연결되지 않도록 회피되게 형성됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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제 4 항에 있어서,상기 복수의 절연홈은상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위로부터 상기 베이스 플레이트의 내측 부위를 경유한 후 다시금 상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위에 이르기까지 각각 연장되도록 형성됨과 더불어 각 절연홈 간의 연장 길이는 서로 달리 이루어지면서 서로가 연결되지 않도록 구성됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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제 1 항에 있어서,상기 제2연통홀에는 해당 마이크로채널을 통해 안내된 유체를 압력센서로 전달하기 위해 연결되는 연결관이 더 구비됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편
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상면에 복수의 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트를 준비하는 단계;상기 준비된 베이스 플레이트의 각 절연홈에 절연재를 충전하여 제1절연층을 각각 형성하는 단계;상기 제1절연층의 상면에 열전대를 각각 얹어서 설치하거나 또는, 패터닝하여 형성하는 단계;복수의 수용공간이 형성됨과 더불어 저면에는 복수의 마이크로채널이 형성된 단차제거용 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 상면에 상기 단차제거용 플레이트를 적층시키는 단계;상기 각 수용공간 내에 절연재를 충전하여 상기 열전대가 외부로 노출됨을 방지하면서 절연시키는 제2절연층을 형성하는 단계;각 마이크로채널의 양 끝단과 연통되는 복수의 제1연통홀 및 제2연통홀이 형성된 표면 플레이트를 상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층시켜 고정하는 단계;각 열전대 양 끝단에 신호선을 각각 연결하고, 상기 표면 플레이트의 각 제2연통홀에는 압력센서와 연결되는 각각의 연결관을 설치하는 단계;를 포함하여 수행됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편의 제조방법
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