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단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019026411
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단결정 구리 박막의 산화를 통해 단결정 산화구리 박막을 형성하고, 상기 단결정 산화구리 박막 상부에 원형 패턴의 산화아연 마이크로를 형성함으로써 광학적 특성과 전기적 특성 및 기계적 안정성이 우수한 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제 및 그 제조방법에 관한 것이다.이러한 본 발명은 투명기판, 상기 투명기판 상부에 형성된 단결정 산화구리층, 상기 제1산화구리층 상부에 형성된 제2산화구리층 및 상기 제2산화구리층 상부에 형성된 산화아연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제를 기술적 요지로 한다.
Int. CL B01J 35/00 (2006.01.01) B01J 23/72 (2006.01.01) B01J 35/02 (2006.01.01) B01J 37/02 (2006.01.01) B01J 23/06 (2006.01.01) C23C 14/18 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/04 (2006.01.01)
CPC B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01) B01J 35/004(2013.01)
출원번호/일자 1020160082817 (2016.06.30)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1759708-0000 (2017.07.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170720) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.30)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세영 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0636016-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0009188-23
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0033466-51
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0186812-53
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0370269-23
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번호 청구항
1 1
투명기판(100);상기 투명기판 상부에 형성된 제1산화구리층(200);상기 제1산화구리층(200) 상부에 형성된 제2산화구리층(300); 및상기 제2산화구리층(300) 상부에 형성된 산화아연층(400);을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제
2 2
제1항에 있어서상기 제1산화구리층(200)은 제1방향성을 가진 산화구리(Ⅱ)인 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제
3 3
제1항에 있어서상기 제2산화구리층(300)은 상기 제1산화구리층(200)과는 다른 제2방향성을 가진 산화구리(Ⅱ)인 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제
4 4
제1항에 있어서상기 산화아연층(400)은 일정 방향성을 가지며 원형 모양 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제
5 5
투명기판(100)의 상부에 단결정 구리를 고주파 스퍼터링 또는 직류 스퍼터링 방식으로 증착시켜 무결점 단결정 구리 박막을 형성하는 제1단계(S110); 상기 투명기판(100)에 형성된 무결점 단결정 구리 박막을 스퍼터링 장비에서 꺼내기 전에 증착온도에서 일정시간 유지하여 표면에 제2산화구리층(300)을 형성하는 제2단계(S120); 상기 무결점 단결정 구리 박막을 공기 분위기상에서 열처리를 통해 제1산화구리층(200)을 형성하는 제3단계(S130);상기 제2산화구리층(300) 위에 자외선 리소스래피 방식으로 일정 모양 패턴의 감광액 마스크를 형성하는 제4단계(S140);상기 감광액 마스크가 형성된 무결점 단결정 구리 박막 위에 산화아연을 고주파 스퍼터링 또는 직류 스퍼터링 방식으로 증착시켜 산화아연층(400)을 형성하는 제5단계(S150);상기 산화아연층(400)을 형성한 구조체의 감광액 마스크와 그 위에 형성되어 있던 상기 산화아연층(400)을 제거하여 일정 모양 패턴의 산화아연을 형성하는 제6단계(S160);로 구성되는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제의 제조방법
6 6
제5항에 있어서상기 제1산화구리층(200)은 제1방향성을 가진 산화구리(Ⅱ)인 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제의 제조방법
7 7
제5항에 있어서상기 제2산화구리층(300)은 상기 제1산화구리층(200)과 다른 제2방향성을 가진 산화구리(Ⅱ)인 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제의 제조방법
8 8
제5항에 있어서상기 산화아연층(400)은 일정 방향성을 가지며 원형 모양 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제의 제조방법
9 9
제5항에 있어서상기 열처리는 공기분위기상의 전기로에서 190~250℃로 5~20분 동안 열처리하여 형성하는 것을 특징으로 하는 단결정 산화구리 박막을 이용한 광촉매제의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 부산대학교 산학협력단 신기술융합형성장동력사업 우주 환경 모사 활용 나노 융합 신소재 개발
2 미래창조과학부 부산대학교 산학협력단 연구소재지원사업 단결정은행(국가목적형소재은행)