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리소그래피를 이용한 마이크로니들용 몰드의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019026467
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따르면, 투명 기판 상에 제1 금속층을 형성하는 단계; 상기 제1 금속층 상부에 제1 포토레지스트층을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트층 상부에 포토마스크를 정렬하는 단계; 상기 포토마스크 상부에서 노광 및 현상하여 상기 제1 포토레지스트층에 패턴을 형성하고, 상기 포토마스크를 제거하는 단계; 상기 제1 금속층을 식각(etching)하고 상기 제1 포토레지스트층을 제거하는 단계; 상기 제1 금속층 상부에 제2 포토레지스트층을 형성하고, 상기 투명 기판 하부에서 노광 및 현상하여 마이크로니들 템플레이트를 제조하는 단계; 및 상기 마이크로니들 템플레이트 상부에 제2 금속층을 형성하고, 상기 마이크로니들 템플레이트를 제거하는 단계;를 포함하는, 마이크로니들용 몰드의 제조방법이 제공된다.
Int. CL A61M 37/00 (2006.01.01) A61K 9/00 (2006.01.01)
CPC A61M 37/0015(2013.01) A61M 37/0015(2013.01) A61M 37/0015(2013.01) A61M 37/0015(2013.01) A61M 37/0015(2013.01)
출원번호/일자 1020170021779 (2017.02.17)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1787945-0000 (2017.10.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171019) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍석원 대한민국 서울특별시 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0167715-32
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0212900-28
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0331965-34
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0663696-53
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0663695-18
6 등록결정서
Decision to grant		 2017.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0637876-67
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번호 청구항
1 1
투명 기판 상에 제1 금속층을 형성하는 단계;상기 제1 금속층 상부에 제1 포토레지스트층을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트층 상부에 포토마스크를 정렬하는 단계;상기 포토마스크 상부에서 노광 및 현상하여 상기 제1 포토레지스트층에 패턴을 형성하고, 상기 포토마스크를 제거하는 단계;상기 제1 금속층을 식각(etching)하고 상기 제1 포토레지스트층을 제거하는 단계;상기 제1 금속층 상부에 복수의 네거티브(negative)형 포토레지스트층으로 이루어진 제2 포토레지스트층을 형성하고, 상기 투명 기판 하부에서 노광 및 현상하여 마이크로니들 템플레이트를 제조하는 단계; 및상기 마이크로니들 템플레이트 상부에 제2 금속층을 형성하고, 상기 마이크로니들 템플레이트를 제거하는 단계;를 포함하고,상기 제2 포토레지스트층을 구성하는 각각의 네거티브형 포토레지스트층은 아크릴계 화합물로 이루어진, 마이크로니들용 몰드의 제조방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 복수의 포토레지스트층 중 하나 이상의 포토레지스트층이 다공(poruos) 구조 또는 섬유(fibrous) 구조를 갖는, 마이크로니들용 몰드의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 금속층은 크롬(Cr)으로 이루어진, 마이크로니들용 몰드의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 제2 금속층은 니켈(Ni) 또는 니켈-인(Ni-P) 합금으로 이루어진, 마이크로니들용 몰드의 제조방법
8 8
제1항 및 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따라 제조된 마이크로니들용 몰드에 마이크로니들 형성용 소재를 적용하는 단계; 및상기 마이크로니들용 몰드를 제거하는 단계;를 포함하는, 마이크로니들의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 마이크로니들 형성용 소재는 생체 적합성(biocompatibility) 고분자, 금속, 세라믹 또는 이들의 복합재료인, 마이크로니들의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.