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입력광을 센싱헤드부를 구성하는 광섬유 코일로 보내고, 상기 광섬유 코일에 구비되는 미러에서 반사되는 반사광을 광검출기로 전송하기 위한 경로를 형성하는 광집적회로 소자;상기 광집적회로 소자와 편광유지 광섬유를 통해 연결되어 빛이 전달되며, 전달되는 빛이 사분파장판을 거쳐서 두 개의 원편광 상태로 변환된 이후 상기 미러에 의해 반사되어 다시 돌아나오는 센싱헤드부;를 포함하며,상기 광집적회로 소자에서는,상기 센싱헤드부로부터 돌아오는 빛을 광검출기로 보내기 위한 제1Y분기로가 형성되고, 상기 제1Y분기로에 의해 상기 광검출기로 전달되는 빛은 제2Y분기로에 의해 분기되며, 분기된 빛의 절반은 광원의 파워변화를 모니터링하는 MPD로 진행되고, 나머지 빛은 제3Y분기로를 통과하게 되며,상기 제3Y분기로에 의해 분기된 경로 중 일측 경로에서는 기판과 22
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제 1 항에 있어서, 상기 입력광의 입사 경로 상에는 위상변조기가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 광간섭계의 구조
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편광유지 광섬유와 연결되어 빛이 전달되며, 전달된 빛을 원편광으로 변환하는 사분파장판과, 원편광으로 변환된 빛의 위상을 지연시키기 위한 광섬유코일 및 상기 광섬유코일의 단부에 구비되어 빛을 반사시키기 위한 미러를 포함하는 센싱헤드부; 및 상기 편광유지 광섬유와 연결되어 광원으로부터 입사된 빛이 상기 센싱헤드부로 전달되도록 하며, 상기 센싱헤드부로부터 반사되어 돌아오는 빛을 광검출기로 전송하기 위한 경로를 형성하는 광집적회로 소자;를 포함하며,상기 광집적회로 소자에는,상기 센싱헤드부로부터 반사되어 돌아오는 빛의 복귀경로를 형성하며, 복귀 방향을 기준으로 순차적인 분기가 이루어지는 제1 내지 제3Y분기로와,적어도 상기 제3Y분기로에 의해 분기된 빛의 진행 경로 중 일측 경로에 구비되며 기판과 22
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실리콘 기판 위에 하부클래딩층을 형성하고, 상기 하부클래딩층에 광도파로 패턴을 형성하여 코어층을 형성하는 단계;상기 코어층의 상측에 폴리머를 코팅하여 1차상부클래딩층을 형성하고, 1차상부클래딩층에 크롬(Cr)과 금(Au)을 증착한 이후 식각하여 도파관형 편광자를 형성하는 단계;상기 도파관형 편광자를 형성한 이후 1차상부클래딩층에 폴리머를 스핀코팅하여 제2상부클래딩층을 형성하는 단계;상기 제2상부클래딩층의 형성 이후 Cr-Au 금속박막으로 위상변조기를 제작하는 위상변조기 형성단계;상기 광도파로에 파장판을 설치하는 설치단계 및상기 파장판이 설치된 이후 광섬유 어레이를 광도파로에 정렬연결하고, 상기 위상변조기에 전선을 연결하는 패키징 단계;를 포함하며,상기 파장판 설치단계에서는 dicing saw를 이용하여 그루브 라인을 형성하고, 상기 그루브 라인에 기판과 광축이 22
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