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직류고전압의 전기에너지를 공급하는 전기에너지 공급모듈; 및상기 전기에너지 공급모듈로부터 공급된 직류고전압의 전기에너지를 제공받아 이를 바탕으로 음극으로 설정된 복수의 바늘과 일정간격 이격되어 5∼30도의 경사각에 기반하여 한쪽으로 비스듬히 기울어진 양극으로 설정된 금속타겟 상의 어느 한 지점 사이에서 동시 다발적으로 복수의 스파크 방전을 모아서 발생시키고, 상기 발생된 복수의 스파크 방전을 이용하여 상기 금속타겟 상의 어느 한 지점에서 비스듬히 기울어진 쪽의 수평방향으로 복수의 엑스선을 다량으로 발생시키는 엑스선 발생모듈을 포함하되,상기 엑스선 발생모듈은, 상기 전기에너지 공급모듈의 음의 단자에 연결되어 음의 전압을 공급받는 음극부와, 상기 음극부의 하부면에 접촉되도록 배치되어 상기 음극부로부터 음의 전압을 제공받아 음극으로 설정됨과 아울러 상기 음극부에 접촉되는 일측면이 그 타측면보다 면적이 크게 이루어진 복수의 바늘이 구비되는 바늘집속부와, 그 상면이 5∼30도의 경사각에 기반하여 한쪽으로 비스듬히 기울어지도록 구비됨과 아울러 상기 전기에너지 공급모듈의 양의 단자에 연결되어 양의 전압을 공급받는 양극부와, 상기 바늘집속부로부터 일정간격 이격되어 상기 바늘집속부와 서로 마주보도록 상기 양극부 상에 접촉되게 배치됨과 아울러 상기 양극부로부터 양의 전압을 공급받아 양극으로 설정되어 상기 복수의 바늘과의 사이에서 복수의 스파크 방전을 동시에 발생시키며 상기 발생된 복수의 스파크 방전을 통해 엑스선을 다량으로 발생시키는 금속타겟이 구비되는 양극타겟부를 포함하고,상기 금속타겟은, 구리(Cu), 텅스텐(W) 및 크롬(Cr) 중 적어도 하나의 금속물질을 이용하여 경사입사증착법(glancing angle deposition, GLAD)으로 다발 형성됨과 아울러 동일한 높이를 가지면서 상기 양극부의 경사각에 상응하여 비스듬히 기울어지도록 나노크기를 갖는 복수개의 금속 나노기둥을 포함하며,상기 바늘집속부의 복수의 바늘은, 상기 음극부의 하부면을 기준으로 일정한 각을 가지면서 상기 금속타겟 상의 어느 한 지점을 향하도록 구비됨과 아울러 상기 금속타겟과의 사이에 동일한 크기의 전위차를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 엑스선 하베스팅 장치
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