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롤투롤 공정에서 광학엔코더를 이용하여 대상물의 거동을 감지하는 방법으로서,(a) 대상물에 정렬패턴-상기 정렬패턴은 대상물의 길이방향과 직교하는 방향(이하, “대상물의 횡방향”이라고 함)으로 길게 연장되는 직사각형 표지가 대상물의 길이방향(이하, “대상물의 종방향”이라고 함)을 따라 일정한 간격을 두고 다수개 배치된 것임-을 1열 이상 마련하는 단계;(b) 상기 단계 (a)에서 마련된 각 열의 정렬패턴에 대응하여 광학엔코더를 배치하되, 각각의 광학엔코더를 대응되는 정렬패턴에 대하여 대상물의 횡방향으로 어긋나게 배치시키는 단계; 및(c) 대상물이 진행하는 중에 상기 각 열의 정렬패턴에 대응하는 상기 각 광학엔코더에 의해 발생된 신호를 기초로 하여 대상물의 거동을 감지하는 단계를 포함하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 1에 있어서, 상기 단계 (a)에서 정렬패턴은 대상물의 어느 한쪽 측부에 적어도 1열이 마련되는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 2에 있어서, 상기 단계 (c)에서,상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 진폭 변화에 기초하여, 대상물의 횡방향 변위를 감지하는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 2에 있어서, 상기 단계 (c)에서,상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 위상 변화에 기초하여, 대상물이 대상물의 종방향에 대하여 기울어진 방향으로 사행하는지 여부를 감지하는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 1에 있어서, 상기 단계 (a)에서 정렬패턴은 대상물의 각 측부에 적어도 1열씩 최소 2열이 마련되는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 5에 있어서, 상기 단계 (c)에서,대상물의 한쪽 측부에 적어도 1열이 마련된 상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 진폭 변화와 대상물의 다른쪽 측부에 적어도 1열이 마련된 상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 진폭 변화를 비교하여, 대상물의 횡방향 변형을 감지하는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 5에 있어서, 상기 단계 (c)에서,대상물의 어느 한쪽 측부에 적어도 1열이 마련된 상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 진폭 변화에 기초하여, 대상물의 횡방향 변위를 감지하는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 5에 있어서, 상기 단계 (c)에서,대상물의 어느 한쪽 측부에 적어도 1열이 마련된 상기 정렬패턴에 대응하는 광학엔코더의 신호의 위상 변화에 기초하여, 대상물이 대상물의 종방향에 대하여 기울어진 방향으로 사행하는지 여부를 감지하는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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청구항 1에 있어서, 상기 단계 (a)에서 정렬패턴은 대상물의 각 측부에 적어도 1열씩 마련되며, 또한 대상물의 중앙부에 적어도 1열이 마련되는것을 특징으로 하는 롤투롤 공정에서 대상물의 거동 감지방법
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