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축전 결합 플라즈마용 전극에 있어서,RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극;상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함하고,상기 RF 전력의 주파수는 50 MHz 내지 200 MHz이고,상기 보조 전극은 하나이고,상기 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 중심 전극의 지름은 200 mm 내지 250 mm이고, 상기 보조 전극의 폭은 30 mm 내지 100 mm이고,상기 중심 전극과 상기 보조 전극 사이의 간격은 10 mm 내지 30 mm이고,서로 이웃한 상기 중심 전극과 보조 전극 사이의 형성된 원호 형태의 전극 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극
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축전 결합 플라즈마용 전극에 있어서,RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극;상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함하고,상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 보조 전극들을 연결하는 보조 전극 연결부를 더 포함하고,상기 RF 전력의 주파수는 50 MHz 내지 200 MHz이고,상기 보조 전극은 4개이고,상기 보조 전극들의 폭은 일정하고,상기 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 보조 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 중심 전극 연결부 및 상기 보조 전극 연결부는 상기 중심 전극의 중심에서 반경 방향으로 연장되어 상기 중심 전극 및 상기 보조 전극들을 연결하고,서로 다른 반경을 가진 이웃한 보조 전극들 사이의 형성된 원호 형태의 보조 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 제1 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극
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축전 결합 플라즈마용 전극에 있어서,RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극;상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함하고,상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 보조 전극들을 연결하는 보조 전극 연결부를 더 포함하고,상기 RF 전력의 주파수는 50 MHz 내지 200 MHz이고,상기 보조 전극은 2개이고,상기 보조 전극들의 폭은 일정하고,상기 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 보조 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 중심 전극 연결부 및 상기 보조 전극 연결부는 상기 중심 전극의 중심에서 반경 방향으로 연장되어 상기 중심 전극 및 상기 보조 전극들을 연결하고,서로 다른 반경을 가진 이웃한 보조 전극들 사이의 형성된 원호 형태의 보조 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 제1 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극
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제3 항에 있어서,서로 이웃한 상기 중심 전극과 보조 전극 사이의 형성된 원호 형태의 전극 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 제2 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극
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축전 결합 플라즈마용 전극에 있어서,RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극;상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함하고,상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 보조 전극들을 연결하는 보조 전극 연결부를 더 포함하고,상기 RF 전력의 주파수는 50 MHz 내지 200 MHz이고,상기 보조 전극은 4개이고,상기 보조 전극들의 폭은 일정하고,상기 중심 전극 연결부는 상기 중심 전극의 중심에서 반경 방향으로 연장되고,상기 보조 전극 연결부와 상기 중심 전극 연결부는 180도 격을 가지고 서로 좌우로 교번하여 이웃한 보조 전극들을 서로 연결하도록 배치되고,서로 다른 반경을 가진 이웃한 보조 전극들 사이의 형성된 원호 형태의 보조 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 제1 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극
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