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붕소입자를 생성하기 위한 붕소생성부;TTIP(titanium tetraisopropoxide) 증기를 생성하기 위한 TTIP 증기 생성부;상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소 나노입자와 상기 TTIP 증기 생성부로부터 생성된 TTIP 증기를 혼합시키기 위해, 상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소입자를 공급하기 위한 공급도관과 버블러로부터 TTIP 증기를 공급하는 공급 도관이 합체되도록 입구측을 구성한 코어튜브;상기 코어튜브로부터 이송된 혼합가스를 가열하여 TTIP를 분해시켜서 붕소에 증착시키기 위한 퍼니스;생성된 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자를 포집하기 위해 상기 퍼니스의 후방에 설치되는 스크린 메쉬필터;상기 퍼니스 내부의 유량을 조절하기 위해 상기 퍼니스의 후단에 설치되는 진공유량제어기; 및상기 진공유량제어기 내부의 진공상태를 유지하기 위한 작동펌프;를 포함하고,상기 TTIP 증기생성부는,불활성가스인 이송가스의 공급을 제어하기 위한 제 2유량제어기; 및상기 제 2유량제어기의 후단에 설치되고, 소스물질인 TTIP(titanium tetraisopropoxide)가 충진되어 있는 버블러;를 포함하며,버블러는 그 후방으로 코어튜브에 연결되고, 버블러와 상기 코어튜브를 연결하는 도관의 외부에는 히팅테이프가 설치되는 것을 특징으로 하는 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 붕소생성부는,불활성가스인 이송가스의 공급을 제어하기 위한 제 1유량제어기;상기 제 1유량제어기의 후방에 설치되며 붕소 입자를 생성하는 애토마이져; 및상기 애토마이져에서 생성된 붕소입자를 건조시키기 위한 활성탄 드라이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 퍼니스는,상기 퍼니스의 내부를 관통하여 지나가도록 설치되는 세라믹튜브; 및상기 세라믹튜브의 외주면에 설치되는 히팅시스템;을 포함하여상기 코어튜브에서 혼합된 붕소 입자와 TTIP 증기가 상기 세라믹튜브로 투입되어, TTIP 증기를 열로 분해하여 발생된 산화티타늄 가스를 상기 붕소 입자에 증착시키는 것을 특징으로 하는 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 붕소 입자와 TTIP 증기의 혼합물질이 상기 버블러로 역류하는 것을 방지하기 위하여, 상기 퍼니스의 전단에 바이패스 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치
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