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제 1 도전형 실리콘 기판과,상기 제 1 도전형 실리콘 기판의 상면에 위치하는 제 2 도전형 실리콘층과,상기 제 2 도전형 실리콘층의 상면이 산화 처리되어 형성되는 화학적 산화층과,상기 화학적 산화층의 상면에 형성되는 알루미나막과,상기 알루미나막의 상면에 전이 금속 산화물로 형성되는 상부 전하 선택 박막과,상기 제 1 도전형 실리콘 기판의 하면에 형성되는 진성 비정질 실리콘 박막과,상기 진성 비정질 실리콘 박막의 하면에 형성되는 제 1 도전형 실리콘 박막과,상기 상부 전하 선택 박막의 상면에 형성되는 상부 투명 전극 및상기 제 1 도전형 실리콘 박막의 하면에 형성되는 하부 투명 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 화학적 산화층은 상기 제 2 도전형 실리콘층의 상면이 SC-1 솔루션, SC-2 솔루션, 질산, 염산, 황산, 인산 또는 불산으로 습식 화학적 산화 처리되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 화학적 산화층은 0
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4 |
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제 1 항에 있어서,상기 알루미나막은 원자층 증착 공정으로 형성되며, 1 ~ 2nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 전이 금속 산화물은 WO3, V2O5 또는 MoOx(1003c#x003c#3)인 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 상부 전하 선택 박막은 1 ~ 7nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 화학적 산화층과 상기 알루미나막 및 상기 상부 전하 선택 박막의 전체 두께는 10nm 이하가 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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8 |
8
제 1 도전형 실리콘 기판과,상기 제 1 도전형 실리콘 기판의 상면에 위치하는 제 2 도전형 실리콘층과,상기 제 1 도전형 실리콘 기판의 하면이 산화 처리되어 형성되는 화학적 산화층과,상기 화학적 산화층의 하면에 형성되는 알루미나막과,상기 알루미나막의 하면에 전이 금속 산화물로 형성되는 하부 전하 선택 박막과,상기 제 2 도전형 실리콘층의 상면에 형성되는 진성 비정질 실리콘 박막과,상기 진성 비정질 실리콘 박막의 상면에 형성되는 상부 투명 전극 및상기 하부 전하 선택 박막의 하면에 형성되는 하부 투명 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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9 |
9
제 8 항에 있어서,상기 전이 금속 산화물은 Cu2O, SnO2 또는 TiO2인 것을 특징으로 하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지
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