| 1 |
1
수소 흡착에 의해 전기 저항이 가역적으로 변하는 알파(α) 결정상의 촉매 금속 및 상기 촉매 금속의 격자 내부로 확산되어 상기 촉매 금속의 상변태(phase transition)를 억제하는 전이금속의 합금으로 전체 영역이 이루어지고, 위치에 따라 상기 촉매 금속에 대한 상기 전이금속의 비율이 연속적으로 변화하는 합금층이 2이상 적층된 구조를 가지며, 상기 촉매 금속에 흡착되는 수소량에 따라 가역적으로 전기적 저항이 변화하는 감지층;상기 감지층과 접촉하고, 서로 이격된 제1 및 제2 전극; 및상기 제1 및 제2 전극과 전기적으로 연결되어 상기 감지층의 전기적 저항 변화를 측정하는 분석회로를 포함하고,상기 촉매 금속은 팔라듐이고, 상기 전이금속은 니켈 또는 마그네슘을 포함하며,상기 합금층 각각의 내부에서, 상기 합금층의 상부면 및 하부면에 인접한 영역에서의 상기 전이금속의 비율은 상기 상부면과 상기 하부면 사이의 중앙 영역에서의 상기 전이금속의 비율보다 낮은 것을 특징으로 하는, 수소 검출 센서
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 합금층 각각의 내부에 있어서, 상기 촉매 금속에 대한 상기 전이금속의 비율은 상기 중앙 영역에서 가장 높고, 상기 중앙 영역에서 멀어질수록 상기 전이금속의 비율이 연속적으로 감소하는 것을 특징으로 하는, 수소 검출 센서
|
| 5 |
5
수소 흡착량에 따라 전기적 저항이 가역적으로 변화하는 수소 감지층의 제조방법에 있어서,기판 상에 수소 흡착에 의해 전기 저항이 가역적으로 변하는 촉매 금속으로 이루어진 복수의 촉매금속층 및 상기 촉매 금속과 합금화하여 상기 촉매 금속의 상변태를 억제시키는 전이 금속으로 이루어진 복수의 전이금속층을 교대로 적층 형성하는 단계; 및 상기 전이 금속을 확산시켜 상기 촉매 금속과 상기 전이 금속을 합금화시키는 단계를 포함하고,상기 촉매금속층은 팔라듐을 포함하고,상기 전이금속층은 니켈 또는 마그네슘을 포함하고,상기 전이금속층은 상기 촉매금속층 두께의 0
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 촉매금속층 및 상기 전이금속층은 각각 스퍼터링 공정을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는, 수소 감지층의 제조방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 촉매금속층은 1nm 이상 4nm 이하의 두께로 형성되고, 상기 전이금속층은 상기 촉매금속층 두께의 0
|
| 8 |
8
삭제
|
