| 1 |
1
기판; 및상기 기판 상에 배치되고, 수소화된 전이금속 산화물을 포함하여 불소계 가스와 반응하는 경우 색이 변화하는 감지층을 포함하고,상기 전이금속 산화물 박막은 텅스텐 산화물(WOx), 몰리브덴 산화물(MoOx) 및 니오븀 산화물(NbOx)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 불소계 가스는 불화가스, 크세논 불화물 가스, 탄소 불화물 가스 또는 황 불화물 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 기판은 종이, 섬유, 고분자, 세라믹, 글라스 및 금속으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
기판 상에 전이금속 산화물 박막을 형성하는 단계; 및상기 전이금속 산화물 박막에 수소를 도핑하는 단계를 포함하고,상기 전이금속 산화물 박막은 텅스텐 산화물(WOx), 몰리브덴 산화물(MoOx) 및 니오븀 산화물(NbOx)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치의 제조방법
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,상기 기판 상에 전이금속 산화물 박막을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 전이금속 산화물 나노 분말들을 도포하는 단계를 포함하고, 상기 전이금속 산화물 박막에 수소를 도핑하는 단계는 상기 전이금속 산화물 박막에 대해 수소 분위기에서 자외선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치의 제조방법
|
| 8 |
8
제5항에 있어서, 상기 기판 상에 전이금속 산화물 박막을 형성하는 단계는 수열합성법을 이용하여 상기 기판 상에 전이금속 산화물 나노 구조체들을 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 전이금속 산화물 박막에 수소를 도핑하는 단계는 상기 전이금속 산화물 박막에 대해 수소 분위기에서 자외선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치의 제조방법
|
| 9 |
9
제5항에 있어서,상기 기판 상에 전이금속 산화물 박막을 형성하는 단계는 스퍼터링 방법으로 상기 기판 상에 전이금속 산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 전이금속 산화물 박막에 수소를 도핑하는 단계는 상기 전이금속 산화물 박막에 대해 수소 분위기에서 자외선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 가스 감지 장치의 제조방법
|
