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니켈계 금속 포일 상에 주석 전구체를 이용하는 화학기상증착법을 통해 주석을 상기 니켈계 금속 포일 상에 증착하여, 상기 니켈계 금속 포일 표면에 니켈/주석 합금층을 형성하는 단계;를 포함하는,니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법
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제1항에 있어서,상기 화학기상증착법은 10 Torr 이하의 압력에서 수행되는 것을 특징으로 하는,니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법
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제1항에 있어서,상기 주석의 화학기상증착은 250 ℃ 내지 950 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는,니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법
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제1항에 있어서,상기 주석 전구체는 디부틸틴 디아세테이트(dibutyltin diacetate)(C12H24O4Sn, DBTDA), 테트라메틸 틴(tetrametyl tin)(C4H12Sn), 테트라부틸 틴(tetrabutyl tin)(C16H36Sn), 틴 클로라이드(tin chloride)(SnCl4) 및 틴 알콕시드(tin alkoxide)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는,니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법
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제1항에 있어서,상기 니켈/주석 합금층을 형성하는 단계에서, 상기 니켈/주석 합금층 상부에 주석층이 형성되는 것을 특징으로 하는,니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법
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