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베이스 플레이트; 및상기 베이스 플레이트의 제1 면으로부터 상기 제1 면의 법선에 경사지게 돌출되고 서로 이격된 복수의 경사 로드(rod)들을 포함하고,상기 경사 로드들 각각은 동일한 단면적을 갖는 기둥 구조를 갖고,상기 경사 로드들과 상기 법선이 이루는 각도는 20°이상 80°이하이며,상기 경사 로드들의 상기 제1 면으로부터의 돌출 길이는 2 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는, 저반사 구조물
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실리콘 기판의 제1 면 상에 서로 이격된 복수의 식각 패턴을 포함하는 식각 마스크를 형성하는 제1 단계;상기 식각 마스크가 형성된 상기 실리콘 기판의 제1 면에 플라즈마 이온을 경사지게 충돌시켜 상기 식각 마스크에 의해 마스킹된 영역을 제외한 나머지 영역에 대해 이방성 식각을 수행하는 제2 단계; 및상기 식각 마스크를 제거하는 제3 단계를 포함하고,상기 제2 단계는 도전성 물질로 이루어진 측벽 및 상기 측벽의 상부에 위치하고 도전성 물질로 형성되며 이온이 통과할 수 있는 수평 격자면을 구비하는 파라데이 상자(Faraday cage) 내에 상기 실리콘 기판을 상기 격자면에 경사지게 배치시킨 후 상기 실리콘 기판의 표면에 SF6 및 C4F8 플라즈마를 교대로 인가하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 저반사 구조물의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 식각 마스크는 실리콘 산화물로 형성된 것을 특징으로 하는, 저반사 구조물의 제조방법
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제1 도전형 반도체 물질로 형성된 이미터층; 및상기 제1 도전형과 다른 제2 도전형 반도체 물질로 형성되고, 상기 이미터층의 하부에 배치되어 상기 이미터층과 PN 접합을 형성하는 광흡수층을 포함하고, 상기 이미터층은 상기 광흡수층과 마주보는 제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 구비하고 단결정 또는 다결정 실리콘으로 형성된 베이스 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 제2 면으로부터 상기 제2 면의 법선에 대해 경사지게 돌출된 복수의 경사 로드들을 포함하며,상기 경사 로드들 각각은 동일한 단면적을 갖는 기둥 구조를 갖고,상기 경사 로드들과 상기 법선이 이루는 각도는 20°이상 80°이하이며,상기 경사 로드들의 상기 제1 면으로부터의 돌출 길이는 2 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는, 태양전지
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디스플레이 패널의 표시면 상에 배치되어 외부광의 반사율을 감소시키는 광학 필름에 있어서,상기 디스플레이 패널과 마주보는 제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 구비하는 베이스 필름; 및상기 제2 면으로부터 상기 제2 면의 법선에 대해 경사지게 돌출된 복수의 경사 로드들을 포함하고,상기 경사 로드들 각각은 동일한 단면적을 갖는 기둥 구조를 갖고,상기 경사 로드들과 상기 법선이 이루는 각도는 20°이상 80°이하이며,상기 경사 로드들의 상기 제1 면으로부터의 돌출 길이는 2 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는, 광학 필름
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제10항에 있어서, 상기 베이스 필름과 상기 경사 로드들은 투명한 고분자 물질로 일체로 형성된 것을 특징으로 하는, 광학 필름
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