| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
하부기판 상에, 제1단자에 연결된 제1패턴층과, 제2단자에 연결되고 제1패턴층으로부터 이격된 제2패턴층을 형성하는 단계;지지체 상에 베이스 나노와이어층을 형성하는 단계;베이스 나노와이어층을 덮으며 베이스 나노와이어층 외측에서 지지체에 컨택하도록 상부기판을 형성하는 단계;베이스 나노와이어층의 지지체 방향의 일부를 지지체 상에 잔존시킨 채, 베이스 나노와이어층의 상부기판 방향의 일부 및 상부기판을 지지체로부터 분리시키는 단계; 및나노와이어층이 제1패턴층과 제2패턴층에 대응하도록, 상부기판을 하부기판 상에 위치시키는 단계;를 포함하는, 압력센서 제조방법
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 상부기판을 형성하는 단계는, 상부기판에 외력이 작용할 시 상부기판의 형상이 변형되는 물질로 상부기판을 형성하는 단계인, 압력센서 제조방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 상부기판을 형성하는 단계는, PDMS(폴리디메틸디실록산, polydimethylsiloxane)를 이용하여 상부기판을 형성하는 단계는 단계인, 압력센서 제조방법
|
| 11 |
11
제7항에 있어서,상기 제1패턴층과 제2패턴층을 형성하는 단계는, 일측에서 상호 연결된 복수개의 제1가지부들을 갖는 제1패턴층과, 복수개의 제1가지부들 사이에 위치하며 타측에서 상호 연결된 복수개의 제2가지부들을 갖는 제2패턴층을 형성하는 단계인, 압력센서 제조방법
|
| 12 |
12
제7항 및 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1패턴층과 제2패턴층을 형성하는 단계는,하부기판 상에 제1패턴층과 제2패턴층이 형성될 부분을 제외한 잔여부분에 마스킹 테이프를 부착하는 단계;하부기판과 마스킹 테이프 상에 도전층을 형성하는 단계; 및마스킹 테이프를 제거하는 단계;를 포함하는, 압력센서 제조방법
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 도전층을 형성하는 단계는, 은입자들을 포함하는 은입자층을 형성하는 단계인, 압력센서 제조방법
|
