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평균 길이가 10 내지 500 ㎛ 범위이고, 길이 방향으로 구분되는 아래의 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역을 포함하는 와이어 구조이고,(ⅰ) 중공 로드 형태이고, D1의 외직경 평균값을 갖는 제1 영역; (ⅱ) 상기 제1 영역의 일측 말단에 형성되고, 제1 영역과 연결된 부분에 금속 응집체를 포함하는 제2 영역; 및(ⅲ) 제1 영역 말단 부위로부터 금속 응집체 부위에 걸쳐 형성된 비정형의 방사상 구조를 포함하는 제3 영역을 포함하며,상기 와이어는 규소산화물 매트릭스 및 상기 규소산화물 매트릭스 내에 분산된 금속 입자를 함유하는 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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제 1 항에 있어서,제1 영역의 외직경 평균값(D1)는 0
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제 1 항에 있어서,상기 제3 영역은 금속 응집체를 중심으로 방사상 형태로 규소산화물 매트릭스가 위치하는 것을 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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제 1 항에 있어서,상기 금속 입자는 주석, 망간, 아연, 마그네슘 및 비스무스로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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제 1 항에 있어서,상기 금속 응집체는 주석, 망간, 아연, 마그네슘 및 비스무스로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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6
제 1 항에 있어서,규소산화물 매트릭스 내에 금속 입자의 비율은 규소 100 원자%를 기준으로 1 원자% 이하인 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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제 1 항에 있어서,제2 영역의 금속 응집체는 평균 직경이 0
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제 1 항에 있어서,제3 영역의 가장 긴 외직경의 평균값(D2)은 10 내지 30 ㎛인 것을 특징으로 하는 중공 와이어
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규소 기판에 금속을 공급하면서 800 내지 1500℃의 온도 범위에서 50분 이상 가열하는 단계를 포함하는 제1항에 따른 중공 와이어의 제조방법
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10
제 9 항에 있어서,금속 산화물 박막이 형성된 기체 공급관이 규소 기판에 유체 연결되고,상기 금속은, 기체 공급관의 금속 산화물이 금속으로 변환 및 탈리되어 규소 기판에 공급되는 것을 특징으로 하는 중공 와이어의 제조방법
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제 10 항에 있어서,금속 산화물의 종류는 주석 산화물, 마그네슘 산화물, 아연 산화물, 망간 산화물 및 비스무스 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 중공 와이어의 제조방법
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