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가공 시편을 에칭하여 유기 발광 다이오드 세도우 마스크를 제조하는 장치에 있어서,상기 가공 시편의 가공면을 담지하고 있는 에칭 용액;소정의 파장 및 세기를 갖는 레이저 빔을 출력하는 레이저;상기 레이저의 출력을 광섬유의 코어로 집광 또는 커플링 시키는 연결부;상기 광섬유의 종단이 상기 가공 시편의 가공면 사이의 거리가 소정의 거리만큼 이격되도록 고정하는 고정부;상기 소정의 거리가 유지된 상태에서, 상기 레이저 빔을 상기 가공면에 조사하면서, 상기 고정부를 이동시켜서 상기 광섬유를 상기 가공 시편에 대해 상대적으로 이동시키는 미세 이송계를 포함하고,상기 레이저 빔이 조사된 가공 시편에는 소정의 패턴을 갖고 가공면인 상면에서 하면까지 통공되어 있고, 상기 패턴은 상기 광섬유가 이동한 경로의 수직방향 면에서 봤을 때, 역사다리꼴 모양이라서 소정 각도의 발산각을 포함하고,상기 소정의 거리가 늘어나는 경우, 레이저 빔의 세기가 커지고, 상기 발산각은 상기 소정의 거리가 늘어남에 따라, 상기 소정 각도가 커지며, 상기 발산각은 상기 광섬유의 이동속도가 빨라짐에 따라, 상기 소정 각도가 작아지고, 상기 소정의 패턴의 상부의 폭은 상기 광섬유의 코어의 직경에 따라 변하며,상기 고정부는 세라믹 재질의 광섬유 페룰이고, 상기 광섬유는 끝단이 1~2mm 돌출되어 세라믹 재질의 광섬유 페룰에 장착되며,상기 광섬유에서 출력되는 레이저 빔은 가우시안 빔 프로파일을 갖고,상기 레이저 빔을 상기 가공면에 조사하는 과정 중에 발생하는 미세기포를 제거하기 위해서 연동펌프와 내열성 튜브를 더 포함하여, 에칭 용액을 순환시키는 것을 특징으로 하는 세도우 마스크를 제조하는 장치
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제1항에 있어서, 상기 광섬유의 이동속도는 10um/s 이상이고, 상기 레이저 빔이 출력이 1
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제1항에 있어서,에칭하는 과정을 촬영하는 CCD 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세도우 마스크를 제조하는 장치
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가공 시편을 에칭하여 유기 발광 다이오드 세도우 마스크를 제조하는 방법에 있어서,상기 가공 시편의 가공면을 에칭 용액에 담지하는 단계;소정의 파장 및 세기의 레이저 빔이 출력되는 광섬유의 종단을 상기 가공 시편의 가공면의 상면으로부터 소정의 거리만큼 이격시켜서 위치시키는 단계;상기 가공 시편 또는 상기 광섬유를 X 또는 Y방향으로 이동시키면서, 레이저 빔을 조사하여 에칭하는 단계를 포함하고,상기 레이저 빔이 조사된 가공 시편에는 소정의 패턴을 갖고, 가공면인 상면에서 하면까지 통공되어 있고, 상기 패턴은 상기 광섬유가 이동한 경로의 수직방향 면에서 봤을 때, 역사다리꼴 모양이라서 소정 각도의 발산각을 포함하고,상기 소정의 거리가 늘어나는 경우, 레이저 빔의 세기가 커지고, 상기 발산각은 상기 소정의 거리가 늘어남에 따라, 상기 소정 각도가 커지며, 상기 발산각은 상기 광섬유의 이동속도가 빨라짐에 따라, 상기 소정 각도가 작아지고, 상기 소정의 패턴의 역사다리꼴 모양 상부의 폭은 상기 광섬유의 코어의 직경에 따라 변하며,상기 광섬유는 끝단이 1~2um 도출되어 세라믹 재질의 광섬유 페룰에 장착되고,상기 광섬유에서 출력되는 레이저 빔은 가우시안 빔 프로파일을 갖으며,상기 에칭하는 단계 중, 상기 에칭 용액의 공급과 가공 중에 발생하는 미세기포를 제거하기 위해서 연동펌프와 내열성 튜브를 이용하여 에칭 용액을 순환시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세도우 마스크를 제조하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 광섬유의 이동속도는 10um/s 이상이고, 상기 레이저 빔이 출력이 1
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