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고분해능 광-전자 융합현미경

  • 기술번호 : KST2019028023
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자빔 경로상에 광경로를 배치하면서도 자기장 렌즈 부위와 근접하여 시료가 위치할 수 있도록 자기장 생성위치를 조절할 수 있는 폴피스를 구비한 요크부를 배열하여 전자현미경의 분해능이 저하되지 않아 고분해능으로 관찰이 가능한 광-전자 융합현미경에 관한 것으로, 다양한 형태의 세미 인렌즈(Semi Inlens)를 사용하거나 혹은 폴피스 사이 공간에 광반사 거울을 배열하여 자기장 렌즈와 시료간 거리를 유지함으로써, 전자현미경 대물렌즈의 초점거리를 실질적으로 증가시키지 않아 전자현미경 영상의 고분해능을 획득하는 효과를 얻는다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01.01) H01J 37/141 (2006.01.01) H01J 37/20 (2006.01.01) H01J 37/18 (2006.01.01)
CPC H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020150158769 (2015.11.12)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1693539-0000 (2017.01.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조복래 대한민국 대전광역시 유성구
2 박인용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-1102428-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0141048-79
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0793322-76
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1160565-61
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1160585-74
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0898147-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
광학현미경과 주사전자현미경이 융합된 고분해능 광-전자 융합현미경으로, 상기 융합현미경은,전자빔을 방출하는 전자빔 발생원;상기 전자빔을 집속하여 통과시키는 집속 렌즈부;상기 집속 렌즈부를 통과한 전자빔을 집속하여 시료에 주사하는 대물렌즈부; 상기 시료에 광선을 조사할 수 있는 광원을 포함하는 광학계;상기 시료가 적치되는 시료홀더가 위치하는 시료실; 및상기 전자빔 발생원, 상기 집속 렌즈부, 상기 대물렌즈부, 상기 광학계 및 상기 시료실을 진공으로 유지하는 진공펌프를 포함하고, 상기 대물렌즈부는, 전자빔 진행경로가 중심에 위치하도록 고리형상으로 감싸는 자기장 생성 코일;상기 코일을 감싸되, 상기 전자빔이 상기 대물렌즈부를 통과해 나간 방향과 평행하게 돌출되어 상기 전자빔 진행경로를 둘러싸며, 단부가 개방된 폴피스(pole piece)를 구비한 요크(yoke)부; 및상기 폴피스의 자력선이 형성하는 상기 요크부 외부의 자기장 렌즈 중심부에 위치하는 광반사 거울을 포함하고, 상기 광반사 거울은 상기 전자빔이 통과할 수 있도록 중심부에 전자빔 통과구멍을 구비하고, 광원으로부터 입사한 광이 시료를 거쳐 광검출기로 향하도록 반사하는,고분해능 광-전자 융합현미경
2 2
광학현미경과 주사전자현미경이 융합된 고분해능 광-전자 융합현미경으로, 상기 융합현미경은,전자빔을 방출하는 전자빔 발생원;상기 전자빔을 집속하여 통과시키는 집속 렌즈부;상기 집속 렌즈부를 통과한 전자빔을 집속하여 시료에 주사하는 대물렌즈부; 상기 시료에 광선을 조사할 수 있는 광원을 포함하는 광학계;상기 시료가 적치되는 시료홀더가 위치하는 시료실; 및상기 전자빔 발생원, 상기 집속 렌즈부, 상기 대물렌즈부, 상기 광학계 및 상기 시료실을 진공으로 유지하는 진공펌프를 포함하고, 상기 대물렌즈부는, 전자빔 진행경로가 중심에 위치하도록 고리형상으로 감싸는 자기장 생성 코일;상기 코일을 감싸되, 상기 전자빔이 상기 대물렌즈부에 입사해 들어오는 방향으로 평행하게 돌출되어 상기 전자빔 진행경로를 둘러싸며, 단부가 개방된 균일한 폴피스(pole piece)를 구비한 요크(yoke)부; 및상기 폴피스의 자력선이 형성하는 상기 요크부 상부의 자기장 렌즈 중심부에 위치하는 광반사 거울을 포함하고,상기 광반사 거울은 상기 전자빔이 통과할 수 있도록 중심부에 전자빔 통과 구멍을 구비하고, 광원으로부터 입사한 광이 시료를 거쳐 광검출기로 향하도록 반사하는,고분해능 광-전자 융합현미경
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광학현미경과 주사전자현미경이 융합된 고분해능 광-전자 융합현미경으로, 상기 융합현미경은,전자빔을 방출하는 전자빔 발생원;상기 전자빔을 집속하여 통과시키는 집속 렌즈부;상기 집속 렌즈부를 통과한 전자빔을 집속하여 시료에 주사하는 대물렌즈부; 상기 시료에 광선을 조사할 수 있는 광원을 포함하는 광학계;상기 시료가 적치되는 시료홀더가 위치하는 시료실; 및상기 전자빔 발생원, 상기 집속 렌즈부, 상기 대물렌즈부, 상기 광학계 및 상기 시료실을 진공으로 유지하는 진공펌프를 포함하고, 상기 대물렌즈부, 상기 광학계는, 전자빔 진행경로가 중심에 위치하도록 고리형상으로 감싸는 자기장 생성 코일;상기 코일을 감싸되, 상기 전자빔 진행경로를 향한 방향으로 돌출되어 상기 전자빔 진행경로를 둘러싸며, 단부가 개방된 균일한 폴피스(pole piece)를 구비한 요크(yoke)부; 및상기 폴피스의 자력선이 형성하는 자기장 렌즈 중심부에 위치하는 광반사 거울을 포함하고,상기 광반사 거울은 상기 전자빔이 통과할 수 있도록 중심부에 전자빔 통과 구멍을 구비하고, 광원으로부터 입사한 광이 시료를 거쳐 광검출기로 향하도록 반사하는,상기 전자빔은 요크부, 상기 광반사 거울 및 상기 시료홀더를 순차적으로 통과하는,고분해능 광-전자 융합현미경
4 4
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광반사 거울은 광집속을 동시에 할 수 있는 곡면형으로 구성된,고분해능 광-전자 융합현미경
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광반사 거울은 광집속을 하는 렌즈와 함께 상기 광학계를 구성하는,고분해능 광-전자 융합현미경
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1 WO2017082561 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017082561 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 주요사업 3-3-1 하전입자빔 기반 연성물질 측정기술 개발