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시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경

  • 기술번호 : KST2019028024
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료고정부(holder)가 연속 배열되고 이동 가능한 시료스테이지를 시료실 벽(Chamber wall)의 한 부분으로 구성하는 시료실을 포함하는 전자현미경 및 광-전자 융합현미경에 관한 것으로, 전자원(20)으로부터 방출된 전자빔을 집속하여 출사하며, 진공배기관(30)을 구비한 전자빔 경통(10); 상기 전자빔 경통(10)을 상부 벽(upper wall)의 전부 또는 일부로 포함하고, 하부 벽의 중심에 개구(hole)가 형성되며, 진공배기관(31)을 구비한 시료실(100); 상기 시료실(100) 하부 벽의 개구(110)를 통해 상기 경통과 대향하는 시료고정부(210)가 연속 배열되고, 진공밀봉을 위해 상기 시료실 하부 벽 하면의 개구를 둘러싸는 고리형 밀봉부재(120)를 사이에 두고 접하여, 시료실 진공이 유지되는 상태에서 수평이동하여 연속 배열된 시료고정부가 순차적으로 상기 출사하는 전자빔에 노출되는 시료스테이지(200); 및 상기 경통과 시료실의 진공배기관에 연결된 진공펌프(40, 41)를 포함한다.
Int. CL H01J 37/20 (2006.01.01) H01J 37/16 (2006.01.01) H01J 37/26 (2006.01.01)
CPC H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01) H01J 37/20(2013.01)
출원번호/일자 1020150163450 (2015.11.20)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1725139-0000 (2017.04.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.20)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조복래 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1135677-55
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0143769-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0799306-85
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.11.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1107049-36
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-1107056-56
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0211763-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경으로,상기 전자현미경은, 전자원으로부터 방출된 전자빔을 집속하여 출사하며, 진공배기관을 구비한 전자빔 경통;상기 전자빔 경통을 상부 벽(upper wall)의 전부 또는 일부로 포함하고, 하부 벽의 중심에 개구(hole)가 형성되며, 진공배기관을 구비한 시료실; 상기 시료실 하부 벽의 개구를 통해 상기 경통과 대향하는 시료고정부가 연속 배열되고, 진공밀봉을 위해 상기 시료실 하부 벽 하면의 개구를 둘러싸는 고리형 밀봉부재를 사이에 두고 접하여, 시료실 진공이 유지되는 상태에서 수평이동하여 연속 배열된 상기 시료고정부가 순차적으로 상기 출사하는 전자빔에 노출되는 시료스테이지; 및상기 경통과 시료실의 진공배기관에 연결된 진공펌프; 및 상기 시료실의 외벽을 둘러싸며 상기 외벽을 그 내벽의 일부로 포함하고 별도의 진공배기관을 구비하는 진공보조실을 포함하고,상기 시료고정부는 상기 수평이동시 시료스테이지가 상기 고리형 밀봉부재에 걸리지 않도록 단차를 확보한 시료홈을 형성하며,상기 시료실, 상기 시료스테이지의 재료는 X-선을 포함한 방사능 차폐부재를 포함하고,상기 경통은 시료의 측정 위치로 평행하게 이동가능하며,상기 진공보조실은 상기 고리형 밀봉부재를 둘러싸는 외측 고리형 밀봉부재를 사이에 두고 상기 시료스테이지와 접하여,상기 출사하는 전자빔에 노출되는 시료고정부가 이중으로 고리형 밀봉부재에 둘러싸이는,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 시료스테이지는 상기 시료고정부가 외부로 노출된 컨베이어벨트형이고,상기 컨베이어벨트형 시료스테이지는 컨베이어 바퀴의 회전에 따라 순차적으로 상기 시료고정부가 상기 시료실 내부로 이동하는,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
4 4
제 1항에 있어서,상기 시료스테이지는 상기 시료고정부가 미리 정한 수만큼 형성된 금속 판이 밀봉용 재질로 연결된 리본형이고,상기 밀봉용 재질은 바이톤, 테프론 패드 또는 자성유체이며,리본형인 상기 시료스테이지가 이동함에 따라 순차적으로 상기 시료고정부가 상기 시료실 내부로 이동하는, 시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
5 5
제 1항에 있어서,상기 시료스테이지는 상기 시료고정부가 테두리부에 형성된 디스크형이고,디스크형인 상기 시료스테이지가 회전함에 따라 순차적으로 상기 시료고정부가 상기 시료실 내부로 이동하는, 시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
6 6
제 1항에 있어서,상기 진공보조실의 진공배기부는 상기 경통의 진공배기부와 연결되는,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
7 7
제 1항에 있어서,상기 시료스테이지는 가시광선, 적외선, 및 자외선을 포함하는 광선이 투과하는,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경
8 8
제 7항의 시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 전자현미경; 및광학현미경부를 포함하는 광-전자 융합현미경으로, 상기 광학현미경부는,상기 시료스테이지의 하부에서 상기 시료고정부를 향하도록 위치한 광학대물렌즈;상기 시료고정부에서 상기 광학대물렌즈로 이어지는 광경로의 연장선에 상기 광경로를 분기시키는 광경로 분기장치;상기 광경로 분기장치로 입사광을 제공하는 광원;상기 광경로상의 상기 분기장치를 통과한 위치에서 음극선 루미네선스(cathode luminescence)를 검출하는 음극선 루미네선스 검출기; 및상기 광경로상의 반투명거울을 통과한 위치에서 광학 영상을 검출하는 광 영상 검출기를 포함하고,상기 음극선 루미네선스는 상기 시료홈에 위치하는 시료에 입사한 전자빔으로부터 방출되고,상기 광학 영상은 상기 광원에서 제공된 입사광이 상기 광경로 장치를 통해 상기 광경로를 거슬러 올라가 상기 광선이 투과하는 시료홀더를 통과해 시료홈에 위치하는 시료에서 반사된 영상인,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 광-전자 융합현미경
9 9
제 8항에 있어서,상기 음극선 루미네선스 검출기와 상기 광 영상 검출기는 빔 분할기(beam splitter)를 통해 광을 시간 또는 공간으로 분할하여 획득하는,시료고정부가 연속 배열된 시료스테이지를 포함하는 광-전자 융합현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 주요사업 3-3-1 하전입자빔 기반 연성물질 측정기술 개발