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기판(100);상기 기판(100)의 상면 테두리에 결합되는 다수의 지지보(200);상기 다수의 지지보(200)의 상면에 결합되며, 상면 중앙에 진공홈(310)이 형성되는 제1플레이트(300);상기 제1플레이트(300)의 진공홈(310) 근처에 위치하는 공기를 흡입하는 공기흡입포트(400); 및상기 제1플레이트(300)의 상면을 덮으며, 상면에 상기 진공홈(310)과 연통되어 어퍼쳐가 진공흡착되는 다수의 진공흡착홀(510)이 격자형으로 배열 형성되는 제2플레이트(500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척(1000)
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제1항에 있어서, 상기 진공척(1000)은상기 제1플레이트(300)의 상면 테두리에 형성되는 삽입홈(320)에 삽입되는 오링(600);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척(1000)
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제1항에 있어서, 상기 진공척(1000)은상기 제1플레이트(300)와 제2플레이트(500)를 서로 조임 결합하는 조임 볼트(710);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척(1000)
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제1항에 있어서, 상기 진공척(1000)은테두리가 상기 제1플레이트(300)의 내벽에 결합되며, 하면이 상기 진공홈(310)에 결합되는 변형방지살(720);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척(1000)
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제4항에 있어서, 상기 변형방지살(720)은격자 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공척(1000)
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