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하전입자선 장치

  • 기술번호 : KST2019028026
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기계적으로 하전입자광축을 경사지게 하지 않고 하전입자광학계 내부에 설치한 입자빔편향부로 하전입자광축의 경로를 조절하여 중성입자와 에너지 범위를 벗어나는 전자 등 불필요한 성분을 제거하는 하전입자선 장치에 관한 것으로, 하전입자광학계 내부에 복수개의 전자기방식의 하전입자선 편향부를 설치한 선택부와 조리개를 통해 질량 대 전하비가 일정한 범위에 속하는 입자들만 통과하도록 함으로써, 기계적으로 광축을 경사지게 하지 않으면서 하전입자선 중 불필요한 성분을 제거한 하전입사선 장치를 제공한다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01.01) H01J 37/244 (2006.01.01) H01J 37/18 (2006.01.01)
CPC H01J 37/1475(2013.01) H01J 37/1475(2013.01) H01J 37/1475(2013.01) H01J 37/1475(2013.01) H01J 37/1475(2013.01)
출원번호/일자 1020150163844 (2015.11.23)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1693536-0000 (2017.01.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.23)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오가와 타카시 일본 (*****)대한민국 대전시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1138630-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0143881-21
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0799381-99
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.11.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1097926-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2016-1097911-09
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0856647-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하전입자선을 방출하는 하전입자원;상기 하전입자선을 집속하여 방출하는 제1 렌즈부;상기 제1 렌즈부를 통과한 하전입자선 중 미리 정한 질량 대 전하 비 또는 미리 정한 에너지를 가지는 하전입자선을 선택적으로 통과시키는 선택부;상기 선택부를 통과한 하전입자선을 집속하여 방출하는 제2 렌즈부;상기 하전입자선이 주사되는 시료가 위치하는 시료실(sample chamber); 상기 시료에서 나온 신호를 검출하는 복수 개의 검출기가 위치하는 검출부; 및상기 제1 및 제2 렌즈부, 상기 선택부 및 상기 검출부를 진공상태로 유지하는 진공펌프를 포함하고,상기 선택부는,상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하는 하나 이상의 편향부; 상기 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하도록 개구의 위치가 조정된 조리개(aperture); 및상기 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않아서 상기 하전입자선이 상기 입사진행 경로와 평행한 방향으로 방출되도록 제어하는 제어부를 포함하는, 하전입자선 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하는 제1 편향부; 및 상기 제1 편향부의 자기장과 동일한 방향 및 동일한 크기로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 자기장 발생부와, 상기 제1 편향부의 정전기장과 방향이 동일하고 크기가 다른 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하는 제2 편향부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 제1 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하여 상기 제2 편향부로 입사하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 제1 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않아 상기 하전입자선이 어느 한 방향으로 편향되도록 하며, 상기 제2 편향부에서 자기편향력 및 전기편향력은 제1 편향부의 자기편향력 및 전기편향력과 그 값은 같고 방향은 반대가 되어 상기 어느 한 방향으로 편향된 하전입자선을 상기 입사진행 경로의 연장선 방향으로 방출하도록 제어하는, 하전입자선 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 편향부에서 자기편향력의 값보다 전기편향력의 값이 크도록 제어하는, 하전입자선 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 편향부에서 자기편향력의 값이 전기편향력의 값보다 크도록 제어하는, 하전입자선 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 제1 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제1 정전기장 발생부를 포함하는 제1 편향부; 및 상기 제1 편향부의 자기장과 동일한 방향 및 동일한 크기의 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 제2 자기장 발생부와, 상기 제1 편향부의 정전기장과 방향은 동일하고 크기는 다른 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제2 정전기장 발생부를 포함하는 제2 편향부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 제1 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하여 상기 제2 편향부로 입사하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 제1 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않아 상기 하전입자선이 어느 한 방향으로 편향되도록 하며, 상기 제2 편향부의 자기편향력은 제1 편향부의 자기편향력과 같고 상기 제2 편향부의 전기편향력은 제1 편향부의 전기편향력과 방향은 같고 크기가 달라서 상기 어느 한 방향으로 편향된 하전입자선을 상기 입사진행경로의 연장선 방향으로 방출하도록 제어하되,상기 제1 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점증하며, 상기 제2 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점강하는, 하전입자선 장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 제1 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제1 정전기장 발생부를 포함하는 제1 편향부; 및 상기 제1 편향부의 자기장 방향과 크기는 같고 방향은 반대인 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 제2 자기장 발생부와, 상기 제1 편향부의 정전기장 방향과 반대 방향으로 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제2 정전기장 발생부를 포함하는 제2 편향부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 제1 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하여 상기 제2 편향부로 입사하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 제1 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않아 상기 하전입자선이 어느 한 방향으로 편향되도록 하며, 상기 제2 편향부의 자기편향력은 상기 제1 편향부의 자기편향력과 크기는 같고 방향은 다르고, 상기 제2 편향부의 전기편향력은 방향이 상기 제1 편향부의 전기편향력과 방향이 반대로 되어 상기 어느 한 방향으로 편향된 하전입자선을 상기 입사진행경로의 연장선 방향으로 방출하도록 제어하되,상기 제1 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점증하며, 상기 제2 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점강하는, 하전입자선 장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 편향 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제1 정전기장 발생부를 포함하는 제1 편향부; 및 상기 편향 자기장 발생부와, 상기 제1 편향부의 정전기장과 동일한 방향으로 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제2 정전기장 발생부를 포함하는 제2 편향부를 포함하되, 상기 제1 편향부의 정전기장 발생부는 제1 전극쌍 및 상기 제1 전극쌍보다 길이가 2배인 제2 전극쌍으로 구성되고, 상기 제2 편향부의 정전기장 발생부는 상기 제1 전극쌍과 길이가 같은 제3 전극쌍으로 구성되며, 상기 제2 전극쌍의 중심에 대해 상기 제1 전극쌍 및 상기 제3 전극쌍은 대칭으로 배열되고, 상기 조리개는, 상기 제1 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하여 상기 제2 편향부로 입사하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 제1 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않으며, 상기 제1 전극쌍이 가하는 정전기력은 상기 제2 전극쌍이 가하는 정전기력과 크기가 달라, 상기 하전입자선이 상기 제1 전극쌍을 지나면서 어느 한 방향으로 편향되다가 상기 제2 전극쌍의 중심부에서 반대방향으로 편향되도록 하며, 상기 제2 편향부에서 자기편향력은 제1 편향부의 자기편향력과 동일하고, 전기편향력은 제1 편향부의 전기편향력과 방향이 같아, 상기 하전입자선을 상기 입사진행경로의 연장선 방향으로 방출하도록 제어하되,상기 제1 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점증하는, 하전입자선 장치
8 8
제 1항에 있어서,상기 편향부는, 상기 하전입자선의 입사 진행경로와 수직방향으로 자기장을 형성하여 상기 하전입자선에 자기편향력을 가하는 편향 자기장 발생부와, 상기 하전입자선의 진행경로 및 상기 자기장의 방향과 수직방향으로 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 제1 정전기장 발생부를 포함하는 제1 편향부; 및 상기 제1 편향부의 자기장 발생부가 연장된 자기장 발생부와, 상기 제1 편향부의 정전기장과 방향이 동일하고 크기가 다른 2단 정정전기장을 형성하여 상기 하전입자선에 상기 자기편향력을 상쇄시키는 방향의 전기편향력을 가하는 정전기장 발생부를 포함하는 제2 편향부를 포함하고,상기 조리개는, 상기 제1 편향부에서 편향된 하전입자선이 통과하여 상기 제2 편향부로 입사하도록 개구의 위치가 조정되고, 상기 제어부는, 상기 제1 편향부에서 자기편향력의 값 또는 전기편향력의 값이 다른 값과 일치하지 않아 상기 하전입자선이 어느 한 방향으로 편향되도록 하며, 상기 제2 편향부의 자기편향력은 상기 제1 편향부의 전기편향력과 동일하고, 상기 제2 편향부의 전기편향력은 상기 제1 편향부의 전기편향력과 방향이 동일하여 상기 어느 한 방향으로 편향된 하전입자선을 상기 입사진행경로의 연장선 방향으로 방출하도록 제어하되,상기 제1 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점증하며, 상기 제2 편향부의 2단 정정전기장은 상기 하전입자선의 진행경로를 따라 점강하는, 하전입자선 장치
9 9
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자는 전자이고, 상기 검출부는 2차전자 검출기, 반사전자 검출기, 전자선 에너지 분석기, 및 X-선 검출기로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상이며,상기 제1 렌즈부와 상기 제2 렌즈부는 전자기 렌즈 또는 정전기(electrostatic) 렌즈인,하전입자선 장치
10 10
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자는 전자이고, 상기 검출부는 투과전자 검출기, 2차전자 검출기, 반사전자 검출기, 전자선 에너지 분석기, 및 X-선 검출기로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상이며,상기 제1 렌즈부와 상기 제2 렌즈부는 전자기 렌즈이며,상기 시료실을 통과한 하전입자를 집속하는 전자기 렌즈를 더 포함하는,하전입자선 장치
11 11
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자는 이온이고, 상기 검출부는 2차전자 검출기, 2차이온 검출기 및 산란이온 검출기로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상이며,상기 제1 렌즈부와 제2 렌즈부는 정전기(electrostatic) 렌즈인, 하전입자선 장치
12 12
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자는 이온이고, 상기 검출부는 2차전자 검출기 또는 2차이온 검출기이며,상기 제1 렌즈부 와 제2 렌즈부는 정전기(electrostatic) 렌즈인, 하전입자선 장치
13 13
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 주요사업 3-3-1 하전입자빔 기반 연성물질 측정기술 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기본사업 기술선도형 히든챔피언 육성사업