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연강재질의 초고진공 진공챔버를 구비한 전계방사형 전자총 및 이를 포함하는 전자현미경

  • 기술번호 : KST2019028027
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 방출하는 전자빔의 전류밀도가 높은 전계방사형 전자총(field emission electron gun)에 요구되는 초고진공을 유지하면서 동시에 표유자계(stray magnetic field) 유입을 방지할 수 있는 연강(mild steel)을 전자총 챔버의 재질로 사용하여 비투자율값이 큰 뮤-메탈(Mu-metal)이나 퍼멀로이(permalloy)로 별도의 자기장 차폐막을 만들지 않고도 안정된 고휘도 성능을 구현하는 초고진공 전자총 및 이를 포함하는 전자현미경에 관한 것으로, 본 발명의 연강재질의 초고진공 진공챔버를 구비한 전계방사형 전자총은 스테인레스 강에 비해 초고진공유지에서 차이가 없으며 비투자율 값이 큰 연강을 챔버로 사용하여 뮤-메탈이나 퍼몰로이 등 전자빔 발생부를 둘러싸는 추가적인 구성을 설치하지 않고도 표유자계의 유입을 방지할 수 있어서 제조가 용이할 뿐 아니라 복잡한 구성을 채택하지 않아 경제적이다.
Int. CL H01J 37/073 (2006.01.01) H01J 37/295 (2006.01.01) H01J 37/18 (2006.01.01) H01J 37/16 (2006.01.01)
CPC H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01)
출원번호/일자 1020150169681 (2015.12.01)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1744482-0000 (2017.06.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.01)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조복래 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-1172555-06
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0890613-55
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0120327-96
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0120338-98
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0276188-40
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0468380-67
7 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.05.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0468400-93
8 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0379011-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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연강재질의 초고진공 진공챔버를 구비한 전계방사형 전자총으로,상기 전자총은 진공배기관을 구비한 관형 측면부; 상기 관형 측면부의 상부 테두리면과 밀봉 상태로 접하고, 상기 관형의 공간 내부를 향하는 전계방사형 전자빔 발생부를 그 중심에 구비한 평판 상면부;상기 평판 상면부로부터 미리 정한 거리만큼 이격되고 상기 관형 측면부의 하부 내면과 접하는 내부 판으로, 상기 전자빔 발생부의 전자 방출방향과 대향하는 위치에 전자빔통과용 구멍(hole)을 구비한 제1 하면부;상기 관형 측면부가 상기 제1 하면부와 접한 위치를 지나 연장되면서 진공 배기관을 구비한 관형 측면 연장부;상기 제1 하면부로부터 미리 정한 거리만큼 이격되고 상기 관형 측면 연장부의 하부 내면과 접하는 내부 평판으로, 상기 제1 하면부의 전자빔통과용 구멍과 대향하는 위치에 전자빔통과용 구멍(hole)을 구비한 제2 하면부; 및상기 진공배기관과 연결된 초고진공 배기용 펌프를 포함하고,상기 관형 측면부, 상기 평판 상면부, 및 상기 제1 하면부는 제1 진공실을 형성하며,상기 제1 하면부, 상기 관형 측면 연장부, 및 상기 제2 하면부는 제2 진공실을 형성하고,상기 관형 측면부 및 상기 관형 측면 연장부 재질은 탄소 중량비가 0
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제 1항에 있어서,상기 연강은 산화 또는 부식을 막기 위해 표면에 크롬 산화방지막을 형성한,연강재질의 초고진공 진공챔버를 구비한 전계방사형 전자총
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삭제
4 4
삭제
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제 1항 또는 제 2항의 전자총을 포함하는,전자현미경
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107636792 CN 중국 FAMILY
2 KR101678513 KR 대한민국 FAMILY
3 US10128077 US 미국 FAMILY
4 US20180218874 US 미국 FAMILY
5 WO2017069343 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107636792 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN107636792 CN 중국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 특정연구개발사업 초고진공 연강 쇼트키(Schottky) 전자총 개발