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적외선-전자 융합현미경

  • 기술번호 : KST2019028029
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자현미경의 전자빔 대물렌즈부에서 전자빔과 광학빔이 공통 경로를 진행하도록 장치를 구현하면서도 각 장비의 성능이 저하되지 않도록 전자현미경의 검출기는 2차전자가 섬광검출기(Scintillator)에서 발생시킨 가시광선 신호를 증폭하고, 광학현미경 검출기는 적외선을 검출하도록 광학계를 구성한 적외선-전자 융합현미경에 관한 것으로, 전자현미경의 섬광검출기에서 발생하는 가시광선이 광학현미경의 적외선 검출기에 영향을 주지 않으므로, 기계적으로 전자현미경 검출기와 광학현미경을 구분하거나 빛을 차단할 필요 없이 시료실에 함께 설치가 가능하여 구조가 간단해지고 경제적이다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01.01) H01J 37/20 (2006.01.01) H01J 37/18 (2006.01.01) G02B 21/00 (2006.01.01)
CPC H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01)
출원번호/일자 1020150181594 (2015.12.18)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1727196-0000 (2017.04.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170414) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인용 대한민국 대전광역시 유성구
2 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-1243195-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0158319-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0871537-93
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0092133-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0092137-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0252313-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
적외선-전자 융합현미경으로, 상기 융합현미경은,전자빔을 방출하는 전자빔 발생원;상기 전자빔을 집속하여 통과시키는 전자집속 렌즈부;상기 전자집속 렌즈부를 통과한 전자빔을 집속하여 시료에 주사하는 전자빔 대물렌즈부; 적외선을 포함하는 광선을 방출하는 광원;상기 광선을 집속하여 통과시키는 광집속 렌즈부;상기 광집속 렌즈부를 통과한 광선을 반사하여 시료에 주사하는 광 반사 거울;상기 시료에서 방출된 적외선을 검출하는 적외선 검출기; 상기 시료가 적치되는 시료홀더가 위치하는 시료실; 및상기 전자빔 발생원, 상기 전자집속 렌즈부, 상기 전자빔 대물렌즈부 광학계 및 상기 시료실을 진공으로 유지하는 진공펌프를 포함하고, 상기 전자빔 대물렌즈부는, 전자빔 진행경로가 중심에 위치하도록 고리형상으로 감싸는 자기장 생성 코일; 및상기 코일을 감싸되, 상기 전자빔이 상기 전자빔 대물렌즈부에 입사해 들어오는 방향으로 평행하게 돌출되어 상기 전자빔 진행경로를 둘러싸며, 단부가 개방된 균일한 폴피스(pole piece)를 구비한 요크(yoke)부를 포함하고, 상기 광 반사 거울은 상기 폴피스의 중심에 위치하고, 상기 전자빔이 통과할 수 있도록 중심부에 전자빔 통과 구멍을 구비하며,상기 적외선 검출기는 섬광검출기에서 발생한 가시광선을 차단하기 위해 전하결합소자(charge coupled device, CCD)에 적외선 필터를 구비하는,적외선-전자 융합현미경
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광 반사 거울은 광 반사와 광 집속을 동시에 할 수 있는 곡면형으로 구성된,적외선-전자 융합현미경
3 3
제 1항에 있어서,상기 광 집속 렌즈부는 상기 전자빔 대물렌즈부의 상기 폴피스를 관통하는 광 경로상에 위치하는,적외선-전자 융합현미경
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 광원과 상기 적외선 검출기는 동일한 광경로 상에 위치하는,적외선-전자 융합현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기본사업 5-2-6 명품홈닥터