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평면형 플라즈마 진단 장치
- 기술번호 : KST2019028030
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 플라즈마 진단 장치를 제공한다. 이 평면형 플라즈마 진단 장치는 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/00 (2006.01.01) |
| CPC | H01J 37/32972(2013.01) H01J 37/32972(2013.01) H01J 37/32972(2013.01) H01J 37/32972(2013.01) H01J 37/32972(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020160007397 (2016.01.21) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1756325-0000 (2017.07.04) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20170710) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2016.01.21) |
| 심사청구항수 | 9 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김정형 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 성대진 | 대한민국 | 충청남도 공주시 |
| 3 | 유신재 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 김대웅 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 누리 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2016.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0068563-10 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2016.12.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2017.02.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2017-0025380-69 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2017.02.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0115295-41 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2017.03.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0246485-12 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2017.03.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0246484-66 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2017.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0452272-62 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 방사 안테나 접지 전극과 상기 수신 안테나 접지 전극은 일체형인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 방사 안테나 코어 전극의 원뿔각 및 상기 방사 안테나 절연체의 원뿔각은 45도 이하인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 4 |
4 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,면적이 넓은 위치에서 상기 방사 안테나 코어 전극의 직경은 4 내지 6mm이고,면적이 넓은 위치에서 상기 방사 안테나 절연체의 직경은 10 내지 20 mm인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 5 |
5 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 플라즈마에 노출되는 상기 방사 안테나의 노출면과 상기 수신 안테나의 노출면을 덮고 있는 보호 절연체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 6 |
6 제1 항에 있어서,상기 방사 안테나에 상기 초고주파를 제공하고 상기 수신 안테나에서 상기 초고주파를 수신하여, 투과 스펙트럼을 산출하는 주파수 스펙트럼 분석기; 및상기 투과 스펙트럼을 분석하여 공진 픽으로부터 플라즈마 컷오프 주파수를 추출하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 7 |
7 금속판;상기 금속판에 매몰되어 배치되는 복수의 수신 안테나; 및상기 금속판에 매몰되어 배치되는 복수의 방사 안테나를 포함하고,상기 수신 안테나와 상기 방사 안테나는 서로 이웃하게 배치되어 서로 한 쌍을 이루고,상기 방사 안테나는:상기 금속판에 매몰되고 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극; 및상기 금속판에 매몰되고 상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체를 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 금속판에 매몰되고 상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극; 및상기 금속판에 매몰되고 상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체;를 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 방사 안테나 코어 전극의 원뿔각 및 상기 방사 안테나 절연체의 원뿔각은 45도 이하인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| 8 |
8 정전척에 있어서,상기 정전척은 매몰된 컷오프 프로브를 포함하고,상기 컷오프 프로브는 주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 방사 안테나 코어 전극의 원뿔각 및 상기 방사 안테나 절연체의 원뿔각은 45도 이하인 것을 특징으로 하는 정전척 |
| 9 |
9 제8 항에 있어서,상기 정전척은 RF 전력을 인가하여 플라즈마를 생성하는 것을 특징으로 하는 정전척 |
| 10 |
10 컷오프 프로브를 포함하는 플라즈마 처리 장치에 있어서,상기 컷오프 프로브는:주파수가 가변되는 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 안테나; 및 상기 방사 안테나와 인접하게 배치되고 상기 플라즈마로부터 상기 초고주파를 수신하는 수신 안테나를 포함하고,상기 방사 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 코어 전극;상기 방사 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 방사 안테나 절연체; 및상기 방사 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 방사 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 수신 안테나는:상기 플라즈마 방향으로 면적이 증가하는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 코어 전극;상기 수신 안테나 코어 전극을 감싸고 있는 절두 원뿔 형태의 수신 안테나 절연체; 및상기 수신 안테나 절연체 및 상기 방사 안테나 코어 전극이 매몰되어 있는 수신 안테나 접지 전극을 포함하고,상기 방사 안테나의 상부면 및 상기 수신 안테나의 상부면은 평면이고,상기 방사 안테나 코어 전극의 원뿔각 및 상기 방사 안테나 절연체의 원뿔각은 45도 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 미래창조과학부 | 한국표준과학연구원 | 첨단융합기술개발 | 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발 |
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1756325-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20160121 출원 번호 : 1020160007397 공고 연월일 : 20170710 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20170628 청구범위의 항수 : 9 유별 : H01J 37/32 발명의 명칭 : 평면형 플라즈마 진단 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 198,000 원 | 2017년 07월 04일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 119,000 원 | 2020년 06월 25일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2016.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0068563-10 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2016.12.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2017.02.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2017-0025380-69 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2017.02.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0115295-41 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2017.03.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0246485-12 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2017.03.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0246484-66 |
| 7 | 등록결정서 | 2017.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0452272-62 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711032816 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011M3C1A8003877 |
| 연구과제명 | 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 201407~201606 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711047589 |
|---|---|
| 세부과제번호 | GP2016-0019 |
| 연구과제명 | 차세대 초박막 공정용 측정기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2016 |
| 연구기간 | 201601~201612 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711032816 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011M3C1A8003877 |
| 연구과제명 | 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 201407~201606 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711047589 |
|---|---|
| 세부과제번호 | GP2016-0019 |
| 연구과제명 | 차세대 초박막 공정용 측정기술 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2016 |
| 연구기간 | 201601~201612 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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