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희석을 위한 순수가스를 공급하기 위한 희석가스공급부;액상의 시료를 기화시킨 시료가스를 공급하기 위한 시료공급부;상기 희석가스공급부의 순수가스와 시료공급부의 시료가스를 혼합하기 위한 표준가스제조부;상기 표준가스제조부에서 제조된 표준가스를 저장하기 위한 저장탱크; 및상기 희석가스공급부와 시료공급부를 표준가스제조부로 연결하거나 표준가스제조부를 저장탱크로 연결시키기 위한 연결수단;을 포함하고,상기 연결수단은,상기 희석가스공급부의 희석가스가 이동되기 위한 희석가스연결관;상기 시료공급부의 시료가스가 이동되기 위한 시료가스연결관;상기 희석가스연결관과 시료가스연결관을 통해 희석가스와 시료가스가 상기 표준가스제조부로 이동되거나 표준가스제조부에서 혼합된 혼합가스가 이동되기 위한 표준가스연결관;상기 표준가스연결관을 통해 이동되는 혼합가스를 상기 저장탱크로 이동시키기 위한 탱크연결관;상기 희석가스연결관과 시료가스연결관, 표준가스연결관, 탱크연결관이 동시에 연결되도록 복수 개 분기된 메인연결관;상기 희석가스연결관을 개폐하기 위한 희석가스밸브;상기 시료가스연결관을 개폐하기 위한 시료가스밸브;상기 표준가스연결관을 개폐하기 위한 표준가스밸브; 및상기 탱크연결관을 개폐하기 위한 탱크밸브;를 포함하며,상기 시료공급부는,액상의 시료를 공급하기 위한 시료공급실린더;상기 시료공급실린더에서 공급된 액상 시료를 가열하여 기화시키는 시료가열부; 및상기 시료가열부에서 기화된 시료가스를 상기 시료가스연결관으로 공급하기 위한 시료가스공급관;을 포함하고,상기 시료가열부에 의해 기화된 시료가스가 임시저장되는 시료가스저장부;를 더 포함하며,상기 시료가스저장부는,상기 시료가스가 임시저장되기 위한 시료가스저장탱크;상기 시료가스공급관과 연결되어 상기 시료가스를 상기 시료가스저장탱크로 공급하기 위한 제1시료가스순환관;상기 제1시료가스순환관을 개폐시키기 위한 제1순환밸브;상기 시료가스저장탱크에 저장된 시료가스를 상기 시료가스공급관으로 재공급하기 위한 제2시료가스순환관; 및상기 제2시료가스순환관을 개폐시키기 위한 제2순환밸브;를 포함하는 액상시료의 표준가스 제조장치
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희석을 위한 순수가스를 공급하기 위한 희석가스공급부;액상의 시료를 기화시킨 시료가스를 공급하기 위한 시료공급부;상기 희석가스공급부의 순수가스와 시료공급부의 시료가스를 혼합하기 위한 표준가스제조부;상기 표준가스제조부에서 제조된 표준가스를 저장하기 위한 저장탱크;상기 희석가스공급부와 시료공급부를 표준가스제조부로 연결하거나 표준가스제조부를 저장탱크로 연결시키기 위한 연결수단;상기 희석가스공급부와 시료공급부를 표준가스제조부로 연결하거나 표준가스제조부를 저장탱크로 연결시키기 위한 제2연결수단; 및상기 희석가스공급부와 시료공급부를 상기 연결수단 및 제2연결수단 중 어느 하나 이상으로 연결시키기 위한 제어부;를 포함하고,상기 연결수단은,상기 희석가스공급부의 희석가스가 이동되기 위한 희석가스연결관;상기 시료공급부의 시료가스가 이동되기 위한 시료가스연결관;상기 희석가스연결관과 시료가스연결관을 통해 희석가스와 시료가스가 상기 표준가스제조부로 이동되거나 표준가스제조부에서 혼합된 혼합가스가 이동되기 위한 표준가스연결관;상기 표준가스연결관을 통해 이동되는 혼합가스를 상기 저장탱크로 이동시키기 위한 탱크연결관;상기 희석가스연결관과 시료가스연결관, 표준가스연결관, 탱크연결관이 동시에 연결되도록 복수 개 분기된 메인연결관;상기 희석가스연결관을 개폐하기 위한 희석가스밸브;상기 시료가스연결관을 개폐하기 위한 시료가스밸브;상기 표준가스연결관을 개폐하기 위한 표준가스밸브; 및상기 탱크연결관을 개폐하기 위한 탱크밸브;를 포함하며,상기 시료공급부는,액상의 시료를 공급하기 위한 시료공급실린더;상기 시료공급실린더에서 공급된 액상 시료를 가열하여 기화시키는 시료가열부; 및상기 시료가열부에서 기화된 시료가스를 상기 시료가스연결관으로 공급하기 위한 시료가스공급관;을 포함하고,상기 시료가열부에 의해 기화된 시료가스가 임시저장되는 시료가스저장부;를 더 포함하며,상기 시료가스저장부는,상기 시료가스가 임시저장되기 위한 시료가스저장탱크;상기 시료가스공급관과 연결되어 상기 시료가스를 상기 시료가스저장탱크로 공급하기 위한 제1시료가스순환관;상기 제1시료가스순환관을 개폐시키기 위한 제1순환밸브;상기 시료가스저장탱크에 저장된 시료가스를 상기 시료가스공급관으로 재공급하기 위한 제2시료가스순환관; 및상기 제2시료가스순환관을 개폐시키기 위한 제2순환밸브;를 포함하는 액상시료의 표준가스 제조장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 표준가스제조부는,상기 표준가스연결관에 연결되되, 진공상태에서 희석가스와 시료가스를 흡입하여 혼합되는 혼합실;상기 혼합실을 선택적으로 진공상태로 유지시키기 위한 진공펌프; 및상기 혼합실과 진공펌프 사이를 개폐시키기 위한 진공밸브;를 포함하는 액상시료의 표준가스 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 제2연결수단은,상기 희석가스공급부의 희석가스가 이동되기 위한 제2희석가스연결관;상기 시료공급부의 시료가스가 이동되기 위한 제2시료가스연결관;상기 제2희석가스연결관과 제2시료가스연결관을 통해 희석가스와 시료가스가 상기 표준가스제조부로 이동되거나 표준가스제조부에서 혼합된 혼합가스가 이동되기 위한 제2표준가스연결관;상기 제2표준가스연결관을 통해 이동되는 혼합가스를 상기 저장탱크로 이동시키기 위한 제2탱크연결관;상기 제2희석가스연결관과 제2시료가스연결관, 제2표준가스연결관, 제2탱크연결관이 동시에 연결되도록 복수 개 분기된 제2메인연결관;상기 제2희석가스연결관을 개폐하기 위한 제2희석가스밸브;상기 제2시료가스연결관을 개폐하기 위한 제2시료가스밸브;상기 제2표준가스연결관을 개폐하기 위한 제2표준가스밸브; 및상기 제2탱크연결관을 개폐하기 위한 제2탱크밸브;를 포함하고,상기 제어부는 상기 연결수단과 제2연결수단 중 어느 하나를 작동시켜 동일한 성분의 표준가스를 각각 제조하여 상기 저장탱크로 저장하는 것을 특징으로 하는 액상시료의 표준가스 제조장치
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