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광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법에 있어서, 광학계를 가공할 연마 툴의 단면형성을 결정하는 단계; 광학계 가공에 있어서, 상기 연마 툴이 회전될 공전반경과 공전속도 및 자전반경과 자전속도를 결정하는 단계; 상기 연마 툴의 단면 형상 내를 다수의 미소영역으로 분할하고, 상기 연마 툴이 공전되면서 시간 순서에 따른 복수의 연마 영역을 지정하는 단계; 상기 미소영역 각각에 대한 압력값을 입력하고, 각각의 미소영역에서의 선속도를 연산하는 단계; 및상기 압력값과, 상기 선속도를 기반으로 연마량에 대한 툴 영향 함수를 모델링하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법
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제 1항에 있어서, 상기 미소영역 각각의 선속도는 이하의 수학식 3에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법:[수학식 3]상기 수학식 3에서, v(r)은 특정 미소영역 내의 선속도이고, r은 공전중심점과 특정미소영역 사이의 거리이고, ω1은 연마 툴의 공전속도, ω2는 연마 툴의 자전속도, ρ1은 연마 툴의 공전반경, ρ2는 연마 툴의 자전반경(툴 반경)이다
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제 2항에 있어서, 상기 연마량에 대한 툴 영향 함수는 이하의 수학식 4에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법:[수학식 4]R(x,y)는 툴 영향 함수이고, x,y는 미소영역의 위치좌표이고, i는 시간 순서에 따른 i번째 연마 영역이고, Pi(x,y)는 i번째 연마영역 내의 x,y 위치의 미소영역내의 압력이고, vi(x,y)는 i번째 연마영역 내의 x,y 위치의 미소영역 내의 선속도이다
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제 3항에 있어서, 다양한 연마 툴의 단면 형상에 대해, 자전반경과 공전반경의 비인 편심률과 자전속도와 공전속도의 비인 회전속도비 별로 상기 툴 영향 함수를 데이터베이스에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법
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광학계 가공에서의 툴 연마량 예측 및 분석장치에 있어서, 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따라 모델링된 툴 영향 함수를 기반으로 연마량과 연마조건 및 연마된 광학계 형상을 예측 및 분석하는 것을 특징으로 하는 광학계 가공에서의 툴 연마량 예측 및 분석장치
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툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공장치에 있어서, 가공 대상이 되는 광학계의 연마면에 면접속되어 자전과 공전에 의해 상기 광학계를 연마하는 연마 툴;상기 연마 툴의 중심단에 연결된 자전회전축;상기 연마 툴의 공전중심상에 위치된 공전회전축;상기 자전회전축을 상기 자전회전축의 길이방향 기준으로 회전하여 상기 연마 툴을 자전시키는 자전회전구동부;상기 공전회전축을 상기 공전회전축의 길이방향 기준으로 회전하여 상기 연마 툴을 공전시키는 공전회전구동부; 및제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따른 툴 영향함수에 기반하여 상기 자전회전구동부와 공전회전구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공장치
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제 7항에 있어서, 상기 자전회전축과 상기 공전회전축의 사이에 구비되는 연결단과, 상기 연결단의 길이를 가변하여, 공전반경을 변화시키는 공전반경조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공장치
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제 8항에 있어서, 광학계 연마 중, 연마 툴에 인가되는 압력을 실시간으로 측정하는 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공장치
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제 9항에 있어서, 다양한 연마 툴의 단면 형상에 대해, 자전반경과 공전반경의 비인 편심률과 자전속도와 공전속도의 비인 회전속도비 별로 상기 툴 영향 함수를 저장하는 데이터베이스를 더 포함하고, 상기 제어부는 가공에 적용되는 연마 툴의 단면형상에 부합되는 툴 영향함수를 데이터베이스에서 선택하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공장치
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툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공방법에 있어서, 광학계를 가공할 연마 툴의 단면형성을 결정하는 단계; 광학계 가공에 있어서, 상기 연마 툴이 회전될 공전반경과 공전속도 및 자전반경과 자전속도을 결정하는 단계; 상기 연마 툴의 단면 형상 내를 다수의 미소영역으로 분할하고, 상기 연마 툴이 공전되면서 시간 순서에 따른 복수의 연마 영역을 지정하는 단계; 상기 미소영역 각각에 대한 압력값을 입력하고, 각각의 미소영역에서의 선속도를 연산하는 단계; 상기 압력값과, 상기 선속도를 기반으로 연마량에 대한 툴 영향 함수를 모델링하는 단계;상기 툴 영향 함수를 기반으로 연마될 광학계의 향상을 예측, 분석하는 단계; 및상기 결정된 단면 형상을 갖는 연마 툴을 이용하여, 상기 공전반경과 공전속도 및 상기 자전반경과 자전속도로 상기 광학계를 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공방법
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제 11항에 있어서, 제어부는 자전회전구동부를 제어하여 결정된 상기 자전속도로 연마 툴이 회전되도록 제어하고, 공전회전구동부를 제어하여 결정된 상기 공전속도로 연마 툴이 회전되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공방법
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제 12항에 있어서, 상기 연마하는 단계에서, 로드셀은 연마 툴에 인가되는 압력을 측정하고, 제어부는 인가되는 압력값이 입력된 압력값이 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공방법
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제 13항에 있어서, 다양한 연마 툴의 단면 형상에 대해, 자전반경과 공전반경의 비인 편심률과 자전속도와 공전속도의 비인 회전속도비 별로 상기 툴 영향 함수를 데이터베이스에 저장하는 단계를 더 포함하고, 상기 예측, 분석하는 단계는, 결정된 연마 툴의 단면형상과, 편심률과 회전속도비에 대응되는, 상기 데이터베이스에 저장된 툴 영향함수를 선택하여 연마될 광학계의 향상을 예측, 분석하는 것을 특징으로 하는 툴 영향 함수를 이용한 광학계 가공방법
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