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레이저 노광법에 있어서, 특정폭과, 특정광량을 갖는 레이저빔이 기판상에 코팅된 감광막으로 조사되는 단계; 상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되는 단계; 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되는 단계; 양측의 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성되는 단계; 및상부에 상기 산화막이 형성된 감광막을 제외한 나머지 감광막을 에칭하여 듀얼라인이 생성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법
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제 1항에 있어서, 상기 특정광량은, 20 ~ 30mW인 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법
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제 2항에 있어서, 상기 감광막은 크롬으로 구성되는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법
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제 3항에 있어서, 상기 조사되는 단계는, 레이저발생부에서 특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 단계;광량조절부에서 상기 레이저 빔이 상기 특정광량을 갖도록 조절하는 단계;상기 레이저 빔이 노광렌즈에 투과되는 단계; 및상기 노광렌즈의 초점 부분에 위치한 상기 감광막으로 상기 레이저 빔이 조사되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법
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제 4항에 있어서, 초점조절부가 상기 노광렌즈와 상기 기판 사이의 간격을 변화하여 상기 초점을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법
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기판 상에 코팅된 감광막에 레이저 빔을 조사하기 위한 노광장치에 있어서,특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저발생부;상기 레이저발생부에서 발생된 레이저 빔이 특정광량이 되도록 조절하는 광량조절부; 및상기 레이저 빔을 투과시켜, 상기 감광막으로 상기 레이저 빔을 조사하는 노광렌즈;를 포함하여,상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되고, 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되며, 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성된 후, 상부에 상기 산화막이 형성된 감광막을 제외한 나머지 감광막을 에칭하여 듀얼라인이 생성하게 되는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광장치
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제 6항에 있어서, 상기 광량조절부는 상기 레이저 빔이 20 ~ 30mW의 광량을 갖도록 광량을 조절 하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광장치
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제 7항에 있어서, 상기 광량조절부는, 광음향변조기, 빔스플리터, 포토다이오드 및 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광장치
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레이저 노광장치를 이용하여 미세패턴을 생성하는 방법에 있어서, 특정폭과, 20 ~ 30mW의 광량을 갖는 레이저빔이 기판상에 코팅된 감광막으로 조사되는 단계; 상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되는 단계; 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되는 단계; 양측의 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성되는 단계; 및상부에 상기 산화막이 형성된 감광막을 제외한 나머지 감광막을 에칭하는 단계를 포함하고, 상기 조사되는 단계에서,상기 레이저 노광장치를 이동시키면서 레이저 빔을 조사하고, 상기 에칭하는 단계에 의해 듀얼라인을 갖는 미세패턴이 생성되는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법
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제 9항에 있어서, 상기 조사되는 단계는, 이동수단이 상기 레이저 노광장치를 상기 기판의 평면방향과 평행한 특정방향으로 설정된 거리만큼 이송시키면서 상기 감광막으로 레이저 빔을 조사하는 제1단계; 상기 레이저 빔의 조사를 중단하고, 상기 이동수단이 상기 레이저 노광장치를 특정 위치로 이동시키는 제2단계; 상기 특정방향을 전환하여, 전환된 방향으로 이동수단이 상기 레이저 노광장치를 설정된 거리만큼 이송시키면서 상기 감광막으로 레이저 빔을 조사하는 제3단계; 및상기 제1단계 내지 상기 제3단계를 반복하는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법
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제 10항에 있어서, 레이저발생부에서 특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 단계;광량조절부에서 상기 레이저 빔이 상기 20 ~ 30mW의 광량을 갖도록 조절하는 단계;상기 레이저 빔이 노광렌즈에 투과되는 단계; 및상기 노광렌즈의 초점 부분에 위치한 상기 감광막으로 상기 레이저 빔이 조사되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법
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기판 상에 코팅된 감광막에 레이저 빔을 조사하여 미세패턴을 제조하기 위한 장치에 있어서,특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저발생부와, 상기 레이저발생부에서 발생된 레이저 빔이 20 ~ 30mW의 광량을 갖도록 조절하는 광량조절부와, 상기 레이저 빔을 투과시켜, 상기 감광막으로 상기 레이저 빔을 조사하는 노광렌즈를 갖는 레이저 노광장치;상기 레이저 노광장치를 상기 기판의 평면방향과 평행한 방향으로 이동시키는 이동수단; 및상기 레이저 노광장치의 이동방향을 전환시키는 방향조절부;를 포함하여, 상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되고, 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되며, 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성된 후, 상부에 상기 산화막이 형성된 감광막을 제외한 나머지 감광막을 에칭하여 듀얼라인을 갖는 미세패턴이 생성하게 되는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조장치
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제 14항에 있어서, 상기 레이저 발생부, 상기 이동수단 및 상기 방향조절부의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조장치
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제 15항에 있어서, 상기 제어부는 상기 이동수단을 제어하여, 상기 기판의 평면방향과 평행한 특정방향으로 설정된 거리만큼 상기 레이저 노광장치를 이송시키면서 상기 감광막으로 레이저 빔을 조사하도록 제어하고, 설정된 거리만큼 이동 후 제어부는 상기 레이저 발생부를 제어하여 상기 레이저 빔의 조사를 중단시키고, 상기 이동수단을 제어하여 상기 레이저 노광장치를 특정 위치로 이동시키도록 하고, 상기 제어부는 방향조절부를 제어하여, 상기 특정방향을 전환하도록 하고, 다시 이동수단을 제어하여 전환된 특정방향으로 상기 레이저 노광장치를 설정된 거리만큼 이송시키면서 상기 감광막으로 레이저 빔을 조사하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조장치
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