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열식 유량계에 있어서, 유체(200)가 0
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제 1 항에 있어서, 상기 제어부(500)는 상기 제 1, 2 히터(112, 132)가 일정한 온도를 유지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전방온도센서(114), 상기 제 1 히터(112) 및 상기 제 1 후방온도센서(116)는 등간격으로 설치되거나 유속에 따른 온도차가 가장 큰 곳에 설치되는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서, 상기 제어부(500)는 상기 유량을 산출할 때 보정계수를 곱해서 산출하고,상기 보정계수는 상기 배관의 단면적, 상기 유체의 비열, 상기 제 1 전방온도센서(114)와 상기 제 1 히터(112)의 설치간격, 상기 제 1 후방온도센서(116)와 상기 제 1 히터(112)의 설치간격중 적어도 하나에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유량측정부(130)의 후방에는 상기 제 1, 2 단면적의 비율과 같은 비율로 변화하는 유량측정부가 연속적으로 설치되고,연속적으로 설치되는 상기 유량측정부에도 전방온도센서, 히터 및 후방온도센서의 셋트가 동일하게 순차적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1, 2 단면적 및 상기 연속 설치되는 유량측정부의 단면적은 높이가 동일하고, 폭이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 단면적은 상기 제 2 단면적에 비해 상대적으로 더 작은 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유량측정부(110)와 상기 제 2 유량측정부(130) 사이에는 점진적인 단면적 변화를 유도하기 위한 제 1 천이부(120)가 설치되는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 있어서, 상기 제어부(500)는 상기 제 1 전방온도센서(114)와 상기 제 1 후방온도센서(116)의 출력신호에 기초하여 상기 유체(200)의 유동방향을 판단하는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계
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제 1 항에 의한 열식 마이크로 유량계의 유량 측정방법에 있어서, 서로 다른 단면적을 갖는 제 1 유량측정부(110)와 제 2 유량측정부(130)가 직렬연결된 배관(100)을 통해 유속이 변하는 유체(200)가 유동하는 단계(S200);제어부(500)가 상기 배관(100)에 설치된 각 히터들을 가열하는 단계(S220);상기 제어부(500)가 상기 제 1 유량측정부(110)의 온도센서들과 상기 제 2 유량측정부(130)의 온도센서들의 출력을 수신하는 단계(S240);상기 제어부(500)가 상기 제 1 유량측정부(110)의 온도센서들의 출력에 기초하여 제 1 유량을 산출하고, 상기 제 2 유량측정부(130)의 온도센서들의 출력에 기초하여 제 2 유량을 산출한 뒤, 제 1, 2 유량의 평균으로 상기 유체(200)의 유량을 산출하는 단계(S260); 및평균 유량이 기준유량 이하인 경우 상기 제 1 유량측정부(110)의 온도센서들의 출력에 기초하여 산출된 유량을 출력하고, 상기 평균 유량이 상기 기준유량을 초과하는 경우 상기 제 2 유량측정부(130)의 온도센서들의 출력에 기초하여 산출된 유량을 출력하는 단계(S280);를 포함하는 것을 특징으로 하는 열식 마이크로 유량계의 유량 측정방법
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