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열전효과를 이용하는 온-웨이퍼 전력공급장치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019028061
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼(10) 상에 열전부(20)가 설치되어 웨이퍼(10)의 가장자리와 중심의 온도차에 의해 열전부(20)를 통하여 전력을 얻는 온-웨이퍼 전력공급장치(1)에 관한 것으로서, 열전부(20)는 다른 열전특성을 갖는 제1물질층(21)과 제2물질층(22)이 옆으로 교번하여 배치되면서 서로 직렬적으로 연결되어 이루어지고, 제1물질층(21)과 제2물질층(22)의 연결접점들(23)이 웨이퍼(10) 내에서 안쪽과 바깥쪽에 교번해 가면서 위치하도록 배치되어 열전부(20)가 구불구불한 형상을 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 웨이퍼(10) 상에 서로 다른 열전특성을 갖는 물질을 설치하여 전력을 얻기 때문에 배터리 없이도 동력원(예컨대 무선통신 동력원)을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 높은 온도 환경에서도 이러한 동력원의 획득이 가능하다는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) H01L 35/02 (2006.01.01) H01L 35/32 (2006.01.01) H01L 35/12 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160136445 (2016.10.20)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1825461-0000 (2018.01.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.20)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 대전광역시 유성구
2 강상우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김용규 대한민국 대전광역시 서구
4 권수용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-1019387-66
2 보정요구서
Request for Amendment
2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0155893-73
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-1060204-82
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0066684-38
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0328093-65
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0657237-24
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0762155-19
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0762154-74
10 등록결정서
Decision to grant
2017.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0910324-69
11 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1088167-04
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
웨이퍼 상에 열전부가 설치되어 상기 웨이퍼의 가장자리와 중심의 온도차에 의해 상기 열전부를 통하여 전력을 얻는 온-웨이퍼 전력공급장치로서, 상기 열전부에서 얻어지는 열기전력을 동력원으로 하여 외부통신을 하도록 통신제어부가 설치되며,상기 웨이퍼의 가운데 부분에 센싱부가 설치되고, 상기 통신제어부는 상기 열기전력을 동력원으로 하여 상기 센싱부에서 측정된 값을 외부로 송출하도록 설치되며,상기 열전부는 다른 열전특성을 갖는 제1물질층과 제2물질층이 옆으로 교번하여 배치되면서 서로 직렬적으로 연결되어 이루어지고, 상기 제1물질층과 제2물질층의 연결접점들이 상기 웨이퍼 내에서 안쪽과 바깥쪽에 교번해 가면서 위치하도록 배치되어 상기 열전부가 구불구불한 형상을 하며,상기 열전부가 상기 웨이퍼의 가장자리 면을 따라가면서 설치되는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 열전부가 상기 웨이퍼의 앞면과 뒷면 중 적어도 어느 한 면에 설치되는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
3 3
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4 4
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5 5
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6 6
제1항에 있어서, 상기 센싱부는 상기 웨이퍼의 부분별 기전력 혹은 저항값을 측정하여 상기 웨이퍼의 온도 불균일도를 간파하는 온도측정센서이고, 상기 통신제어부는 상기 온도측정센서에 의해 측정되는 기전력 혹은 저항값을 외부로 송출하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1물질층과 제2물질층의 연결점접은 상기 제1물질층과 제1물질층이 연결부위에서 서로 중첩되어 포개지도록 하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 제1물질층과 제2물질층은 두께가 10~1000㎛, 폭이 0
9 9
제1항에 있어서, 상기 제1물질층과 제2물질층이 서로 다른 재질의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
10 10
제1항에 있어서, 상기 제1물질층과 제2물질층이 서로 다른 재질의 반도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
11 11
제10항에 있어서, 상기 제1물질층과 제2물질층 사이에 금속재질의 제3물질층이 더 설치되어 상기 제1물질층과 제2물질층이 상기 제3물질층을 매개로 하여 직렬적으로 연결되며, 상기 제3물질층이 상기 웨이퍼 내에서 안쪽과 바깥쪽에 교번해 가면서 위치하도록 설치되어 상기 열전부가 구불구불한 형상을 하는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
12 12
제1항에 있어서, 상기 열전부가 별도의 기재 상에 설치된 후 상기 웨이퍼에 탑재되는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 전력공급장치
13 13
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14 14
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15 15
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16 16
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 3-3-2차세대초박막공정용측정기술개발
2 산업통상자원부 (주)에스엔텍 소재부품기술개발사업 실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 센서 시스템 개발