| 1 |
1
서로 대향된 제1 면과 제2 면을 갖는 고정 판;상기 제1 면 상에 이격 배치되는 변형 거울;상기 변형 거울과 상기 고정 판를 연결하고, 서로 이격된 복수의 구동 소자들; 상기 고정 판과 연결되어, 상기 고정 판을 변형시키는 고정 판 변형부를 포함하고, 상기 고정 판 변형부는:상기 제2 면에 연결되고, 서로 이격된 복수의 지지 부재들; 및 상기 지지 부재들 중 서로 인접한 제1 및 제2 지지 부재들을 연결하는 적어도 하나의 길이 조절 유닛을 포함하고, 상기 고정 판 변형부는, 서로 인접한 상기 지지 부재들 중 적어도 어느 하나를 밀거나 당기는 변형 거울 보상 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 길이 조절 유닛은:상기 제1 및 제2 지지 부재들 사이에 위치된 회동 부재;상기 제1 지지 부재와 연결되는 제1 연결부와, 상기 제1 연결부로부터 상기 회동 부재를 향해 연장되며, 그의 길이 방향을 따라 배열된 오른 나사산들을 갖는 제1 볼트부를 포함하는 제1 체결 부재; 및 상기 제2 지지 부재와 연결되는 제2 연결부와, 상기 제2 연결부로부터 상기 회동 부재를 향해 연장되며, 그의 길이 방향을 따라 배열된 왼 나사산들을 갖는 제2 볼트부를 포함하는 제2 체결 부재를 포함하고,상기 회동 부재는, 상기 제1 및 제2 볼트부들에 회동 가능하게 결합되는 변형 거울 보상 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 회동 부재는, 몸체부, 상기 몸체부의 일단에 제공된 제1 삽입 개구부, 및 상기 몸체부의 타단에 제공된 제2 삽입 개구부를 포함하고, 상기 몸체부는:내측면에 상기 제1 삽입 개구부로부터 상기 제2 삽입 개구부를 향해 배열된 복수의 제1 나사산들; 및상기 내측면에 상기 제2 삽입 개구부로부터 상기 제1 삽입 개구부를 향해 배열된 복수의 제2 나사산들을 포함하는 변형 거울 보상 장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 회동 부재는 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회동하는 변형 거울 보상 장치
|
| 5 |
5
제2항에 있어서, 상기 제1 연결부는, 상기 제1 지지 부재가 관통하는 제1 관통 개구부를 갖고, 상기 제2 연결부는, 상기 제2 지지 부재가 관통하는 제2 관통 개구부를 갖는 변형 거울 보상 장치
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 상기 제1 볼트부, 상기 제2 볼트부 및 상기 회동 부재는, 동일 선상에 위치되는 변형 거울 보상 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 길이 조절 유닛은:상기 제1 지지 부재와 연결되고, 상기 제1 지지 부재를 밀거나 당기는 제1 구동부; 및상기 제2 지지 부재와 연결되고, 상기 제2 지지 부재를 밀거나 당기는 제2 구동부를 포함하는 변형 거울 보상 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 제1 구동부는 상기 제1 지지 부재의 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능한 제1 리니어 액추에이터(actuator)를 포함하고, 상기 제2 구동부는 상기 제2 지지 부재의 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능한 제2 리니어 액추에이터(actuator)를 포함하는 변형 거울 보상 장치
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 리니어 액추에이터들은 서로 반대 방향으로 이동하는 변형 거울 보상 장치
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 구동 소자들의 각각은, 상기 변형 거울을 밀거나 잡아 당기는 변형 거울 보상 장치
|
| 11 |
11
제1항에 있어서, 상기 복수의 지지 부재들은, 상기 고정 판의 경계를 따라 배열되는 변형 거울 보상 장치
|
| 12 |
12
제1항에 있어서, 상기 복수의 지지 부재들은, 상기 제2 면의 중심으로부터 방사 방향을 따라 배열되는 변형 거울 보상 장치
|
