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하우징;상기 하우징 내에 배치되고, 레이저 광을 생성하는 레이저 발생기;상기 레이저 발생기 상에 배치되고, 상기 레이저 광으로부터 투과 광을 생성하는 증기 셀; 및상기 증기 셀 상에 배치되고, 상기 투과 광을 검출하는 검출기를 포함하되,상기 증기 셀은:하부 기판 및 상기 하부 기판 상의 상부 기판을 포함하는 투명 박스;상기 투명 박스 내에 충진된 알카리 가스; 및상기 하부 기판의 아래와 상기 상부 기판 상에 형성된 광학 패턴들을 포함하되,상기 광학 패턴들은:상기 하부 기판 아래에 형성되어 상기 레이저 광을 편광시키는 하부 패턴들; 및상기 상부 기판 상에 형성되어 상기 편광된 레이저 광을 수평 편광 방출광과 수직 편광 방출광으로 분리하는 상부 패턴들을 포함하되,상기 상부 패턴들은:상기 원 기둥 패턴들;상기 원 기둥 패턴들 사이의 상기 상부 기판 상에 형성되고, 제 1 방향의 장축을 갖는 제 1 타원 기둥 패턴들; 및상기 제 1 타원 기둥 패턴들과 상기 원 기둥 패턴들 사이의 상기 상부 기판 상에 형성되고, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향의 장축을 갖는 제 2 타원 기둥 패턴들을 포함하되,상기 검출기는:상기 증기 셀의 중심의 일측 상에 배치되어 상기 수평 편광 방출광을 검출라는 제 1 검출기; 및상기 제 1 검출기와 마주하는 상기 증기 셀의 중심의 타측 상에 배치되어 상기 수직 편광 방출광을 검출하는 제 2 검출기를 포함하는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 투명 박스는 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이에 알카리 가스를 밀봉하는 측벽 부를 더 포함하는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 하부 기판과 상기 상부 기판은 글래스를 포함하되,상기 광학 패턴들은 실리콘, 실리콘 나이트라이드, 또는 티타늄 옥사이드를 포함하는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 하부 패턴들은 120나노미터의 폭과 80나노미터의 간격을 갖는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 하부 패턴들은 180나노미터의 두께를 갖는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 하부 패턴들은 줄무늬 패턴들을 포함하는 칩 스케일 원자 시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 타원 기둥 패턴들은 서로 인접하여 배치되되,상기 제 1 및 제 2 타원 기둥 패턴들과 상기 원 기둥 패턴들은 상기 제 2 방향으로 교번하여 배치된 칩 스케일 원자 시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 타원 기둥 패턴들의 각각은 150나노미터의 단축과 270나노미터의 장축을 갖는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 상부 패턴들은 715나노미터의 두께를 갖는 칩 스케일 원자시계의 물리적 모듈
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