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(a) 제1 가스 용기 내에 성분 가스 및 밸런스 가스를 채우는 단계;(b) 상기 제1 가스 용기 내부의 가스 압력을 측정하는 단계;(c) 상기 제1 가스 용기와 내부가 진공 상태인 제2 가스 용기를 연통하여 제1 가스 압력 분배를 수행하는 단계; 및(d) 상기 제2 가스 용기 내부의 가스 압력을 측정하는 단계;를 포함하고,상기 (b) 단계의 측정값과 상기 (d) 단계의 측정값의 차이를 통해 가스 용기 내에 흡착된 상기 성분 가스의 양을 계산하여 가스 손실량으로서 결정하며,상기 성분 가스만이 상기 제1 가스 용기 및 상기 제2 가스 용기 내부에서 흡착되고, 상기 밸런스 가스는 상기 제1 가스 용기 및 상기 제2 가스 용기 내부에 흡착되지 않는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계와 상기 (d) 단계에서 측정한 압력값의 차이를 상기 성분 가스의 몰수로 환산하여, 가스 용기 내에 흡착된 상기 성분 가스의 양을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제2항에 있어서,상기 (b) 단계의 측정값을 Pm,gas,0, 상기 (d) 단계의 측정값을 Pd,gas,1이라고 할 때,(1)식 (ZA는 압축인자, R은 기체 상수, T는 온도, Vcyl은 가스 용기 내부 부피)로부터 흡착된 성분 가스의 양(nA,loss,m,0)을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계에서 상기 성분 가스의 제조 입력량을 , 상기 밸런스 가스의 제조 입력량을 이라고 하고,상기 (d) 단계에서 상기 성분 가스의 몰 분률 측정값을 이라고 할 때,(2)식 로부터 상기 성분 가스의 손실량 을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제2항에 있어서,상기 (b) 단계에서 상기 성분 가스가 상기 제1 가스 용기 내부에 흡착되어 나타나는 압력 손실값은, 상기 (d) 단계에서 상기 제1 가스 압력 분배 수행 후 상기 제1 가스 용기 및 상기 제2 가스 용기 내부에 흡착되어 나타나는 압력 손실값의 2배인, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서,상기 제1 가스 용기 내부의 가스 압력을 측정하여, 상기 제2 가스 용기 내부의 가스 압력 측정값으로 사용하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 제1 가스 용기와 상기 제2 가스 용기는 동일한, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,(e) 상기 제1 가스 용기와 상기 제2 가스 용기 사이를 폐쇄하고, 진공 상태의 제3 가스 용기를 준비하는 단계;(f) 상기 제2 가스 용기와 상기 제3 가스 용기를 연통하여 제2 가스 압력 분배를 수행하는 단계; 및(g) 상기 제3 가스 용기 내부의 가스 압력을 측정하는 단계를 더 포함하고,상기 (d) 단계의 측정값에서 상기 (g) 단계의 측정값의 차이를 통해 가스 용기 내에 흡착된 상기 성분 가스의 양을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제9항에 있어서,상기 (d) 단계의 측정값을 Pd,gas,1, 상기 (g) 단계의 측정값을 Pgd,gas,1이라고 할 때,(3)식 (ZA는 압축인자, R은 기체 상수, T는 온도, Vcyl은 가스 용기 내부 부피)로부터 흡착된 성분 가스의 양(nA,loss,m,1)을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 상기 성분 가스의 제조 입력량을 , 상기 밸런스 가스의 제조 입력량을 이라고 하고,상기 (g) 단계에서 상기 성분 가스의 몰 분률 측정값을 이라고 할 때,(4)식 로부터 상기 성분 가스의 손실량 을 결정하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제9항에 있어서,i+1개의 가스 용기를 이용하여, i번의 가스 압력 분배를 수행한 경우로서,(h) 제i-1 가스 용기와 제i 가스 용기 사이를 폐쇄하고, 진공 상태의 제i+1 가스 용기를 준비하는 단계;(i) 상기 제i 가스 용기와 상기 제i+1 가스 용기를 연통하여 제i 가스 압력 분배를 수행하는 단계; 및(j) 상기 제i+1 가스 용기 내부의 가스 압력을 측정하는 단계를 더 포함하고,상기 (h) 단계에서의 상기 제i 가스 용기의 가스 압력 측정값과, 상기 (j) 단계에서의 상기 제i+1 가스 용기의 가스 압력 측정값의 차이는, (ZA는 압축인자, R은 기체 상수, T는 온도, Vcyl은 가스 용기 내부 부피)로서 상수값(Constant Value)을 가지는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 제1 가스 압력 분배 수행후에, 상기 제2 가스 용기 내의 상기 성분 가스 상의 몰 분률(Mole Fraction) xA,gas,d,1은,(5)식 [nA,grav,m,0는 (a) 단계에서 제1 가스 용기 내에 주입한 성분 가스 양(mol), nB,grav,m,0는 (a) 단계에서 제1 가스 용기 내에 주입한 밸런스 가스 양(mol)]을 통해 계산되는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계와 상기 (d) 단계 사이에, 상기 제1 가스 용기 및 상기 제2 가스 용기에 사이에 가스 압력 평형이 완료되었는지 여부를 정밀압력 측정기에 표시하는 단계를 더 포함하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계와 상기 (d) 단계 사이에, 상기 제1 가스 용기 및 상기 제2 가스 용기에 사이에 온도 평형이 완료되었는지 여부를 정밀온도 측정기에 표시하는 단계를 더 포함하는, 가스 용기 내 가스 손실량 결정방법
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