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재료가 수용되는 보관 용기;상기 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터;상기 보관 용기의 상부에 배치되며, 상기 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더;상기 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및상기 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고,상기 액추에이터는, 상기 액추에이터의 구동에 의해 상기 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고,상기 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될 기판을 상기 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하고,상기 로드락 챔버는,상기 홀더로부터 연장되고, 상기 이송 부재의 왕복 이동이 이루어지는 제 1 챔버;상기 제 1 챔버의 일부 영역으로부터 돌출되는 제 2 챔버;상기 제 1 챔버 내에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 기판 홀더; 및상기 홀더와 상기 로드락 챔버의 사이에 배치되는 게이트 밸브를 포함하고,상기 제 2 챔버는 상기 제 1 챔버와 일측 끝단에서 연결되고, 타측 끝단에서 개폐부와 연결되며,상기 개폐부는,상기 제 2 챔버를 통해 상기 로드락 챔버 내부 또는 외부로 상기 기판을 이송하는 경우에만 열리고,상기 게이트 밸브는,상기 기판이 상기 홀더의 내부로 로딩 또는 언로딩되는 경우에만 열리는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 로드부의 일측 끝단에는 상기 보관 용기의 내면을 향하여 돌출되는 스트리퍼가 배치되는 고온 보관 장치
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제 2 항에 있어서,상기 스트리퍼의 외면과 상기 보관 용기의 내면은 서로 이격되는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 액추에이터의 내부를 관통하도록 배치되어 상기 보관 용기 내부의 온도를 측정하는 온도 측정부를 더 포함하는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 홀더는 관통공을 포함하여 상기 보관 용기의 내부와 연결되는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 홀더는 상기 로드락 챔버와 연결되는 연결 포트를 포함하고,상기 게이트 밸브는 상기 연결 포트 및 상기 로드락 챔버의 사이에 배치되어 상기 연결 포트와 로드락 챔버를 연결 및 차단하는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 홀더는 상기 보관 용기 및 홀더 내부의 공기를 배출하기 위한 석션 포트를 포함하는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 홀더의 외벽의 내부에는 냉각수 유로가 배치되는 고온 보관 장치
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제1항에 있어서,상기 기판 홀더는 상기 제 2 챔버와 대응되는 영역에 배치되어, 상기 제 2 챔버를 통해 상기 기판 홀더로 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 고온 보관 장치
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제1항에 있어서,상기 이송 부재는, 상기 제 1 챔버의 내부를 따라 왕복 이동하며 상기 홀더로 기판을 로딩 또는 언로딩하는 로드; 및 상기 로드의 일측 끝단에 배치되어 상기 기판을 그립(grip)하는 그립부를 포함하는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 로드락 챔버는 내부의 공기를 배출하기 위한 진공 펌프와 연결되는 고온 보관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 액추에이터, 홀더, 가열부 및 로드락 챔버와 연결되어 각각의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 고온 보관 장치
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