| 1 |
1
웨이퍼 상에 형성된 기준저항;상기 웨이퍼 상에서 상기 기준저항의 적어도 일단으로부터 연장되어 형성되고, 제1물질로 이루어지며, 1개 이상의 측정접점을 포함하는 제1열전부;상기 웨이퍼 상에서 상기 제1열전부와는 다른 층에 위치하고, 상기 제1물질과는 다른 제2물질로 이루어지며, 2개 이상의 열전배선을 포함하는 제2열전부;상기 제1열전부와 제2열전부 사이에 배치되는 층간절연층; 및 상기 층간절연층을 관통하여, 상기 기준저항의 적어도 일단 및 상기 1개 이상의 측정접점 각각을 상기 2개 이상의 열전배선 일단에 각각 연결시키는 도전플러그;를 포함하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 제1열전부와 제2열전부는 열전쌍(thermocouple)을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 제1열전부와 제2열전부는 각각 서로 다른 순금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 기준저항의 일단의 온도를 기준온도로 하고, 상기 기준저항의 일단과 상기 측정접점 간의 전위차를 기반으로 상기 측정접점의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 상에서 상기 기준저항의 양단에 연결된 기준저항측정배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 2개 이상의 열전배선 타단이 취합되는 전압측정단자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 기준저항은 상기 웨이퍼의 가운데 영역에 형성된 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 기준저항은 하나의 저항이 구불구불하게 연결된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 상기 제1열전부는 상기 기준저항의 양단으로부터 연장되어 형성된 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 제1열전부는 제1물질로 이루어진 열전배선으로 구성되고, 상기 열전배선 상에는 2개 이상의 측정접점이 포함된 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 2개 이상의 측정접점은 상기 열전배선 상에서 일정한 간격으로 떨어져서 위치하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 12 |
12
제1항에 있어서, 상기 제1열전부는 상기 기준저항의 적어도 일단으로부터 연장되어 형성된 메인열전부와, 상기 메인열전부로부터 분지된 분지열전부로 이루어진 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 13 |
13
제1항에 있어서, 상기 층간절연층은 상기 도전플러그가 관통하는 비아홀을 갖는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 14 |
14
제1항에 있어서, 상기 기준저항 및 제1열전부가 웨이퍼 상에서 상기 제2열전부보다 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 15 |
15
제1항에 있어서, 상기 기준저항 및 제1열전부는 웨이퍼 표면에 노출되어 설치된 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
|
| 16 |
16
제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 웨이퍼 센서와,상기 웨이퍼 센서가 올려지는 플레이트를 포함하는 웨이퍼 온도측정 시스템
|
| 17 |
17
웨이퍼 상에 제2물질로 이루어지고 2개 이상의 열전배선을 포함하는 제2열전부를 형성하는 단계;상기 제2열전부 상에 층간절연층을 형성하는 단계;상기 2개 이상의 열전배선 각각의 일단이 노출되도록 상기 층간절연층에 2개 이상의 비아홀을 형성하는 단계;상기 2개 이상의 열전배선 각각과의 전기적 접속을 위하여 상기 비아홀에 도전플러그를 형성하는 단계; 및기준저항과 상기 기준저항의 적어도 일단으로부터 연장되어 형성되고 상기 제2물질과는 다른 제1물질로 이루어지며 1개 이상의 측정접점을 포함하는 열전배선을 상기 층간절연층 상에 형성하되, 상기 기준저항의 적어도 일단과 1개 이상의 측정접점 각각을 상기 도전플러그에 전기적으로 접속시켜서, 제1열전부를 형성하는 단계;를 포함하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서의 제조방법
|
