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미러(10)의 미러면(11)을 연마하는 연마툴(111) 및 레이저(114)와 간섭계카메라(113)를 포함하여 간섭계영상(116)을 생성하는 간섭계(112)가 장착될 수 있는 이동헤드유닛(110)과, 상기 이동헤드유닛(110)이 거치되는 이동팔(121)과 상기 이동팔(121)에 동력을 제공하는 모터(122) 및 상기 모터(122)를 제어하여 미리 설정된 기계좌표계(124)상에서 상기 이동헤드유닛(110)의 위치를 제어하는 위치제어모듈(123)을 포함하는 위치이동유닛(120)으로 구성되는 위치이동장치(100);미리 설정된 관제좌표계(371) 및 상기 관제좌표계(371)가 2차원으로 변환된 관제좌표이미지(372)를 생성하는 관제좌표제어유닛(370)과,상기 미러(10) 상부의 특정위치에 배치되어 상기 미러(10)의 형상과 상기 이동헤드유닛(110) 및 관제좌표이미지(372)를 포함하는 관제영상(302)를 획득하는 관제카메라(301)와,상기 관제영상(302)과 상기 간섭계영상(116) 및 작업자(1)의 조작에 따라 상기 관제좌표계(371) 상에서 특정 위치를 지시하는 포인터(311)를 관제좌표계(371) 상에서 디스플레이 하는 관제모니터유닛(310)과,상기 작업자(1)로부터 상기 포인터(311)가 상기 관제좌표계(371) 상에서 특정 위치를 지시하는 포인터-관제좌표값(311-1)를 포함하는 관제명령(2)을 입력 받는 관제입력부(320)와,상기 간섭계영상(116)과 상기 관제영상(302)을 기반으로 하여 상기 기계좌표계(124)와 상기 관제좌표계(371) 상호간에 좌표값을 변환할 수 있는 좌표보정함수(331)를 도출하는 이미지프로세싱유닛(330)과, 상기 좌표보정함수(331)를 기반으로 하여 상기 포인터-관제좌표값(311-1)으로부터 상기 기계좌표계(124)상 좌표값으로 보정한 포인터-기계좌표값(341)을 산출하는 보정좌표생성유닛(340) 및,상기 포인터-기계좌표값(341)을 상기 위치제어모듈(123)로 전송하여 상기 위치제어모듈(123)이 상기 포인터-기계좌표값(341)을 기반으로 상기 이동헤드유닛(110)의 위치를 제어하며 상기 관제카메라(301)와 상기 관제모니터유닛(310)과 상기 관제입력부(320)와 상기 이미지프로세싱유닛(330)와 상기 보정좌표생성유닛(340) 및 상기 관제좌표제어유닛(370)중 적어도 하나 이상의 작동을 제어하는 관제제어유닛(350)을 포함하는 관제제어장치(300); 및상기 관제좌표이미지(372)를 상기 미러면(11)에 투사하는 좌표이미지투사유닛(210)을 포함하는 좌표이미지투사장치(200);로 구성되어,상기 간섭계영상(116)은 상기 레이저(114)와 간섭계카메라(113)가 측정한 상기 미러면(11)의 연마깊이측정값(115)과 상기 연마깊이측정값(115)의 위치를 상기 기계좌표계(124) 상에 표시되는 기계좌표값(125)을 포함하고, 상기 연마깊이측정값(115)이 상기 기계좌표계(124) 상에 2차원 또는 3차원으로 표시되는 영상이고,상기 좌표이미지투사장치(200)는 상기 관제좌표이미지(372)의 수직 주사선 또는 수평 주사선에 해당하는 1차원관제좌표이미지(305)를 생성하는 좌표이미지변환장치(230)와, 상기 1차원관제좌표이미지(305)를 방출하는 레이저장치(240)와, 1축 또는 2축으로 회전하는 회전축(221) 및 상기 회전축(221)을 중심으로 배치되는 복수개의 거울면(222)으로 구성되어 상기 레이저장치(240)로부터 방출되는 상기 1차원관제좌표이미지(305)를 반사하여 상기 미러면(11)에 상기 관제좌표이미지(372)를 투사하는 회전거울유닛(220)으로 구성되는 회전 거울을 포함하는 2차원 스케닝 시스템(280)인 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제1항에 있어서,상기 포인터-기계좌표값(341)과 상기 포인터-기계좌표값(341)에 매칭하는 상기 연마깊이측정값(115)이 상기 관제모니터유닛(310)에 표시되는 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제1항에 있어서,상기 관제제어장치(300)는,상기 연마깊이측정값(115)를 크기 순서로 소팅(sorting)하여 상기 관제모니터유닛(310)에 디스플레이하는 연마위치관제유닛(360)을 더 포함하여,소팅된 상기 연마깊이측정값(115)를 기반으로 하여 상기 작업자(1)가 연마위치를 선택하도록 하는 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제3항에 있어서, 상기 작업자(1)는 상기 미러면(11)의 설계형상(312)을 상기 관제입력부(320)를 통하여 입력하고,상기 연마위치관제유닛(360)은 상기 설계형상(312)과 상기 연마깊이측정값(115)의 차이값인 연마차이(361)를 산출하고 상기 연마차이(361)의 컨투어 그래픽 형상을 포함하는 연마차이정보(361-1)를 생성하여 상기 관제모니터유닛(310)에 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제1항에 있어서상기 좌표이미지투사장치(200)는 상기 미러면(11)과 상기 좌표이미지투사유닛(210) 사이의 이격 거리에 따라서 상기 관제좌표이미지(372)의 초점을 조절하기 위한 좌표이미지초점조절렌즈(250)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제1항에 있어서, 상기 좌표이미지투사장치(200)는 레이저장치(240)와 상기 레이저장치(240)에서 방출되는 레이저빔(beam)을 회절시켜 상기 미러면(11)에 상기 관제좌표이미지(372)를 투사하는 회절패턴(251)이 형성된 회절광학소자(250, Diffractive Optical Element)로 구성되는 회절광학소자를 이용한 이미지투사기(270)인 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제7항에 있어서,상기 회절광학소자(250)가 탈착가능 한 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템
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제1항에 따른 연마기용 이동헤드유닛(110)에 장착된 카메라를 구비한 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정 방법에 있어서, 이동헤드유닛(110)에 레이저(114)와 간섭계카메라(113)를 이용하는 간섭계(112)를 장착하는 단계;위치제어모듈(123)이 미리 설정된 기계좌표계(131)상에서 상기 이동헤드유닛(110)의 위치를 제어하는 단계;좌표이미지투사유닛(210)은 관제좌표계(371)가 2차원형상으로 변환된 관제좌표이미지(372)를 상기 미러면(11) 에 투사하는 단계;상기 간섭계(112)는, 상기 레이저(114)와 간섭계카메라(113)가 측정한 상기 미러면(11)의 연마깊이측정값(115)과 상기 연마깊이측정값(115)의 위치를 미리 설정된 기계좌표계(124) 상에 표시되는 기계좌표값(125)및, 상기 연마깊이측정값(115)이 상기 기계좌표계(124) 상에 2차원 또는 3차원으로 표시되는 영상을 포함하는 간섭계영상(116)을 생성하는 단계;관제모니터유닛(310)이 상기 간섭계영상(116)과 작업자(1)의 조작에 따라 상기 간섭계영상(116)의 특정 위치를 지시하는 포인터(311)를 디스플레이 하는 단계;이미지프로세싱유닛(330)은, 상기 간섭계영상(116)과 상기 관제영상(302)을 기반으로 하여, 상기 기계좌표계(124)와 상기 관제좌표계(371) 상호간에 좌표값을 변환 할 수 있는 좌표보정함수(331)를 도출하는 단계;보정좌표생성유닛(340)이 상기 이미지프로세싱유닛(330)에서 도출된 상기 좌표보정함수(331)를 기반으로 하여, 상기 포인터(311)의 위치를 상기 기계좌표계(124)상 좌표값으로 보정한 포인터-기계좌표값(341)으로 산출하는 단계; 및관제제어유닛(350)은 상기 포인터-기계좌표값(341)을 상기 위치제어모듈(123)로 전송하여 상기 위치제어모듈(123)이 상기 포인터-기계좌표값(341)을 기반으로 상기 이동헤드유닛(110)의 위치를 제어하는 단계;를 포함하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템의 작동 방법
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제9항에 있어서, 연마위치관제유닛(360)은 상기 연마깊이측정값(115)를 크기 순서로 소팅(sorting)하여 상기 관제모니터유닛(310)에 디스플레이 하는 단계; 및소팅된 상기 연마깊이측정값(115)를 기반으로 하여 작업자(1)가 연마위치를 선택하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템의 작동 방법
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