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기판상에 형성된 제1전극 및 제2전극 및,상기 제1전극 및 제2전극에 접하는 가스 감지부를 포함하고, 상기 가스 감지부는 탄소나노튜브 및 팔라듐나노입자를 포함하되,상기 팔라듐나노입자들 사이에서 불규칙 또는 규칙적인 탄소나노튜브 그물구조가 형성된 나노복합체가 포함된 수소 가스 감지용 센서
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제1항에 있어서,상기 나노복합체는 탄소나노튜브를 포함한 분산액을 드롭하여 건조하고 팔라듐 나노입자를 포함한 분산액을 드롭하여 건조한 후, 다시 탄소나노튜브를 포함한 분산액을 드롭하여 건조하여 형성한 탄소나노튜브 층/팔라듐나노입자 분산층/탄소나노튜브 층 순서로 형성된 샌드위치형의 다층 구조를 포함하는 수소 가스 감지용 센서
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브(single-walled carbon nanotube, SWCNT)인 수소 가스 감지용 센서
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제1항에 있어서,상기 팔라듐나노입자는 입경 1 내지 50nm인 수소 가스 감지용 센서
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제2항에 있어서, 상기 팔라듐나노입자 분산층에서 팔라듐나노입자는 탄소나노튜브가 형성한 망상구조에 의해 포집(entrap)된 수소 가스 감지용 센서
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제3항에 있어서,상기 단일벽 탄소나노튜브는 직경 0
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제1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1전극 및 제2전극과 접하는 커넥터가 포함된 수소 가스 감지용 센서
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기판상에 제1전극 및 제2전극을 형성하는 단계;탄소나노튜브 분산액 및 팔라듐나노입자 분산액 드롭을 위해 구멍이 형성된 테이프를 상기 기판상의 제1전극 및 제2전극이 영역이 포함되도록 접착시키는 단계;상기 접착된 테이프의 구멍에 탄소나노튜브 분산액을 드롭하고 건조하는 단계; 탄소나노튜브 분산액 건조 후, 팔라듐나노입자 분산액을 드롭하고 건조하는 단계;팔라듐나노입자 분산액 건조 후, 탄소나노튜브 분산액을 드롭하고 건조하는 단계; 및상기 테이프를 제거하는 단계;를 포함하는 수소 가스 감지용 센서의 제조방법
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