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절연특성 측정방법에 있어서,공정챔버 내에서 기판 상에 박막을 형성하는 단계;상기 기판의 배면과 접촉된 접촉전극과, 상기 박막 상에 형성된 수은 프로브에 의한 감지전극으로부터 상기 공정챔버 내에서 상기 박막에 전계를 가하는 단계;상기 공정챔버 일측에 형성된 측정부에 의해 상기 전계에 따른 상기 박막의 절연특성을 인시츄로 측정하는 단계; 및상기 공정챔버 일측에 형성된 출력부에 의해 상기 인시츄로 측정된 상기 박막의 절연특성을 실시간으로 출력하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판은,실리콘(Si) 웨이퍼, 갈륨질소(GaN), 갈륨인(GaP), 갈륨비소인(GaAsP), 갈륨비소(GaAs), 보론 나이트라이드(BN), SiC, ZnO, MgO, 사파이어, 석영 및 글라스 중 어느 하나,또는, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA) 및 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 박막은,산화막 또는 절연막인 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 인시츄 절연특성 측정방법은,상기 박막의 절연특성을 인시츄로 측정한 후,상기 접촉전극 및 감지전극의 종류, 접촉(contact) 방식 또는 진공도에 따른 상기 절연특성에 대한 보정인자를 고려하여 상기 출력부에 보정된 절연특성을 재출력시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판 상에 박막을 형성하면서,상기 공정챔버의 일측에 설치된 모니터링부에 의해 상기 박막의 두께를 실시간으로 측정하는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 감지전극은,상기 박막 상에 복수개의 수은 프로브로 형성되어 상기 박막의 절연특성 측정에 대한 정밀도를 개선시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 수은 프로브에 의한 상기 공정챔버 내부의 오염을 방지하기 위해, 상기 수은 프로브의 사용시 주변 차폐를 위한 캡을 작동시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 수은 프로브에 의한 감지전극의 형성은,실린더 내부에 주입된 수은의 압력을 조절하여 상기 박막 상에 감지전극으로 구현하는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 8항에 있어서, 상기 수은의 압력의 조절은,진공펌프를 이용하는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 측정부 및 출력부는,LCR 미터인것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정방법
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절연특성 측정장치에 있어서,기판 상에 박막을 형성하기 위한 공정챔버;상기 공정챔버 내부에 형성되어 상기 박막에 전계를 인가하며, 상기 기판의 배면과 접촉되는 접촉전극과, 상기 박막 상에 형성된 수은 프로브를 포함하는 감지전극으로 이루어진 측정전극부;상기 전계에 따른 상기 박막의 절연특성을 인시츄로 측정하는 측정부; 및상기 공정챔버 일측에 형성되어 상기 측정부와 연결되어, 상기 인시츄로 측정된 상기 박막의 절연특성을 실시간으로 출력하는 출력부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 기판은,실리콘(Si) 웨이퍼, 갈륨질소(GaN), 갈륨인(GaP), 갈륨비소인(GaAsP), 갈륨비소(GaAs), 보론 나이트라이드(BN), SiC, ZnO, MgO, 사파이어, 석영 및 글라스 중 어느 하나,또는, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA) 및 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 박막은,산화막 또는 절연막인 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 측정부 및 출력부에는,상기 접촉전극 및 감지전극의 종류, 접촉(contact) 방식 또는 진공도에 따른 상기 절연특성에 대한 보정인자가 입력되도록 하여, 상기 출력부에 보정된 절연특성을 재출력시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 공정챔버의 일측에는 상기 박막의 두께를 실시간으로 측정하기 위한 모니터링부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 감지전극은,상기 박막 상에 복수개의 수은 프로브로 형성되는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 공정챔버 내부에 형성되며,상기 수은 프로브의 사용시 주변 차폐를 위한 캡이 더 형성된 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 수은 프로브와 연결형성된 진공펌프에 의해 상기 수은 프로브에 의한 감지전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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제 11항에 있어서, 상기 측정부 및 출력부는,LCR 미터인 것을 특징으로 하는 인시츄 절연특성 측정장치
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