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플라즈마 활성종 발생 장치에 있어서,RF 전력 공급부, 가스 공급부, RF 전극, 바이어스 전극을 구비하여 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생부; 상기 대기압 플라즈마 발생부로부터 발생되는 하전입자와 활성종이 혼재된 플라즈마로부터 하전입자의 확산을 방지하고 활성종의 확산을 통하여 활성종을 추출하는 활성종 추출부;를 포함하고,상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 갖도록 형성되어 상기 활성종 추출부의 홀 내부에서 플라즈마 발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 활성종 추출부의 홀은 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 갖는 바늘(needle) 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 활성종 추출부는 생체 내부에 활성종을 주입할 수 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 복수개 구비하는 면적 구조체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 복수개 구비하는 메쉬 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 활성종 추출부는 소정의 면적 범위로 활성종을 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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플라즈마 활성종 발생 장치에 있어서, RF 전력 공급부, 가스 공급부, 가이드부, RF 전극, 바이어스 전극을 구비하여 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생부; 상기 대기압 플라즈마 발생부로부터 발생되는 하전입자와 활성종이 혼재된 플라즈마로부터 활성종을 추출하는 활성종 추출부;를 포함하고, 상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 갖는 바늘(needle) 형태로 형성되어 상기 활성종 추출부의 홀 내부에서 플라즈마 발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 RF 전극은 플라즈마 발생에 필요한 전위차를 조절하기 위하여 상기 가이드부의 내부 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 RF 전극 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 7 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 추출된 활성종을 더 용이하게 공급하기 위하여 압력공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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플라즈마 활성종 발생 장치에 있어서, RF 전력 공급부, 가스 공급부, 가이드부, RF 전극, 바이어스 전극을 구비하여 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생부; 상기 대기압 플라즈마 발생부로부터 발생되는 하전입자와 활성종이 혼재된 플라즈마로부터 활성종을 추출하는 활성종 추출부;를 포함하고, 상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 복수개 구비하는 면적 구조체로 형성되어 상기 활성종 추출부의 홀 내부에서 플라즈마 발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 11 항에 있어서, 상기 RF 전극은 플라즈마 발생에 필요한 전위차를 조절하기 위하여 상기 가이드부의 내부 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 RF 전극 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,상기 추출된 활성종을 더 용이하게 공급하기 위하여 압력공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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플라즈마 활성종 발생 장치에 있어서, RF 전력 공급부, 가스 공급부, 가이드부, RF 전극, 바이어스 전극을 구비하여 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생부; 상기 대기압 플라즈마 발생부로부터 발생되는 하전입자와 활성종이 혼재된 플라즈마로부터 활성종을 추출하는 활성종 추출부;를 포함하고, 상기 활성종 추출부는 상기 대기압 플라즈마 발생부의 쉬스 길이보다 작은 직경의 홀을 복수개 구비하는 메쉬 형태로 형성되어 상기 활성종 추출부의 홀 내부에서 플라즈마 발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성종 발생 장치
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