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형상측정시스템에 있어서, 서로 주파수가 다른 패턴을 합성한 복합패턴을 측정대상물에 투영하는 복합패턴발생부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 복합패턴의 영상을 획득하는 디텍터; 및상기 복합패턴으로부터 각 주파수별 접힌(wrapped) 위상을 획득하고, 각 접힌 위상으로부터 펼친(unwrapped) 위상을 획득하는 위상획득부;를 포함하고,상기 복합패턴은, 수직방향패턴인 제1방향패턴과, 수평방향패턴인 제2방향패턴과, 수평방향에서 시계방향으로 45도 회전된 제3방향패턴과, 수평방향에서 반시계방향으로 45도 회전된 제4방향패턴을 합성하여 생성되며,상기 위상획득부는, 획득된 상기 복합패턴의 이미지를 푸리에 변환을 통해 제1 내지 제4방향패턴 각각의 독립된 패턴으로 분리하는 독립패턴추출부와, 독립패턴추출부에 의해 추출된 각 독립된 패턴에 대해 사인패턴을 정규화하는 정규화부와, 정규화된 사인패턴으로부터 픽셀 단위로 이동시킨 복수의 공간 위상천이된 패턴으로부터 접힌 위상을 추출하는 접힌위상추출부와, 상기 제1방향패턴과 상기 제2방향패턴에 대한 한주기 위상을 구하여, 상기 제1방향패턴과 상기 제2방향패턴에 대한 펼친 위상을 획득하는 펼친위상획득부를 포함하고, 상기 접힌위상추출부는, 정규화된 사인패턴으로부터 제1 내지 제4방향패턴 각각에 대해 픽셀단위로 이동시킨 복수의 공간위상천이된 패턴을 얻고, 상기 공간위상천이된 패턴 각각에 대해 위상천이량을 획득하고 이로부터 제1 내지 제4방향패턴 각각에 대해 접힌 위상을 추출하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템
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제 1항에 있어서, 상기 정규화부는,비정규화된 사인패턴 신호에 대해 Lissajous figure와, Ellipse fitting 방법을 적용하여 사인패턴을 정규화하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템
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제 1항에 있어서, 획득된 상기 위상으로부터 상기 측정대상물의 3D 형상을 측정, 분석하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템
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복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정방법에 있어서, 복합패턴발생부가 수직방향패턴인 제1방향패턴과, 수평방향패턴인 제2방향패턴과, 수평방향에서 시계방향으로 45도 회전된 제3방향패턴과, 수평방향에서 반시계방향으로 45도 회전된 제4방향패턴을 합성하여 획득한 복합패턴을 측정대상물에 투영하는 단계;디텍터가 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 복합패턴의 영상을 획득하는 단계; 독립패턴추출부가 획득된 상기 복합패턴의 이미지를 푸리에 변환을 통해 제1 내지 제4방향패턴 각각의 독립된 패턴으로 분리하는 단계; 정규화부가 독립패턴추출부에 의해 추출된 각 독립된 패턴에 대해 사인패턴을 정규화하는 단계;접힌위상추출부가 정규화된 사인패턴으로부터 픽셀 단위로 이동시킨 복수의 공간 위상천이된 패턴으로부터 접힌 위상을 추출하는 단계; 펼친위상획득부가 상기 제1방향패턴과 상기 제2방향패턴에 대한 한주기 위상을 구하여, 상기 제1방향패턴과 상기 제2방향패턴에 대한 펼친 위상을 획득하는 단계;분석수단이 획득된 상기 위상으로부터 상기 측정대상물의 3D 형상을 측정, 분석하는 단계;를 포함하고,상기 접힌 위상을 추출하는 단계는, 정규화된 사인패턴으로부터 제1 내지 제4방향패턴 각각에 대해 픽셀단위로 이동시킨 복수의 공간위상천이된 패턴을 얻고, 상기 공간위상천이된 패턴 각각에 대해 위상천이량을 획득하고 이로부터 제1 내지 제4방향패턴 각각에 대해 접힌 위상을 추출하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정방법
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제 9항에 있어서, 상기 정규화하는 단계는, 비정규화된 사인패턴 신호에 대해 Lissajous figure와, Ellipse fitting 방법을 적용하여 사인패턴을 정규화하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정방법
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형상측정시스템에 있어서, 수직방향패턴인 제1방향패턴과 수평방향패턴인 제2방향패턴을 합성한 복합패턴에 대해 서로 다른 주파수를 갖는 복수의 복합패턴을 측정대상물에 투영하는 복합패턴발생부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 복수의 복합패턴의 영상을 획득하는 디텍터; 및복수의 복합패턴 각각에 대해 제1방향패턴과 제2방향패턴으로 분리하고, 상기 제1방향패턴에 대한 각 주파수별 접힌(wrapped) 위상과 제2방향패턴에 대한 각 주파수별 접힌 위상을 획득하고, 복수의 각 접힌 제1방향패턴의 접힌위상으로부터 펼친(unwrapped) 제1방향패턴의 위상을 획득하고 복수의 각 접힌 제2방향패턴의 접힌위상으로부터 펼친(unwrapped) 제2방향패턴의 위상을 획득하는 위상획득부;를 포함하고,상기 위상획득부는, 획득된 복수의 상기 복합패턴의 이미지 각각을 푸리에 변환을 통해 복수의 제1방향패턴과 복수의 제2방향패턴 각각의 독립된 패턴으로 분리하는 독립패턴추출부와, 독립패턴추출부에 의해 추출된 복수의 제1방향패턴과 복수의 제2방향패턴 각각의 독립된 패턴에 대해 사인패턴을 정규화하는 정규화부와, 정규화된 사인패턴으로부터 픽셀 단위로 이동시킨 복수의 공간 위상천이된 패턴으로부터 제1방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상과 제2방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상을 추출하는 접힌위상추출부와, 상기 제1방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상의 위상차에 기반하여 제1방향패턴에 대한 펼친 위상을 획득하고, 상기 제2방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상의 위상차에 기반하여 제2방향패턴에 대한 펼친 위상을 획득하는 펼친위상획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템
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형상측정방법에 있어서, 복합패턴발생부가 수직방향패턴인 제1방향패턴과 수평방향패턴인 제2방향패턴을 합성한 복합패턴에 대해 서로 다른 주파수를 갖는 복수의 복합패턴을 측정대상물에 투영하는 단계;디텍터가 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 복수의 복합패턴의 영상을 획득하는 단계; 독립패턴추출부가 획득된 복수의 상기 복합패턴의 이미지 각각을 푸리에 변환을 통해 복수의 제1방향패턴과 복수의 제2방향패턴 각각의 독립된 패턴으로 분리하는 단계; 정규화부가 독립패턴추출부에 의해 추출된 복수의 제1방향패턴과 복수의 제2방향패턴 각각의 독립된 패턴에 대해 사인패턴을 정규화하는 단계;접힌위상추출부가 정규화된 사인패턴으로부터 픽셀 단위로 이동시킨 복수의 공간 위상천이된 패턴으로부터 복수의 제1방향패턴 각각에 대한 접힌 위상과 복수의 제2방향패턴 각각에 대한 접힌 위상을 추출하는 단계; 펼친위상획득부가 상기 제1방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상의 위상차에 기반하여 제1방향패턴에 대한 펼친위상을 획득하고, 상기 제2방향패턴에 대한 복수의 접힌 위상의 위상차에 기반하여 제2방향패턴에 대한 펼친 위상을 획득하는 단계; 및 분석수단이 획득된 상기 위상으로부터 상기 측정대상물의 3D 형상을 측정, 분석하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정방법
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