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3 자유도 평면 정렬 장치

  • 기술번호 : KST2019028118
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정밀 다축 스테이지 시스템의 평면 모션 측정을 위한 새로운 절대 X-Y-Θ 위치 센서를 구비한 3 자유도 평면 정렬 장치를 제공한다. 2차원 위상 인코딩된 이진 스케일 (2D phase-encoded binary scale; 2D PEBS)의 회전된 관심 영역(ROI)의 이미지를 분석하여, 두 개의 분리된 점에서 절대 위치 값을 각각 얻는다. 이 값들을 결합하여, 절대 X-Y-Θ 위치를 계산할 수 있다.
Int. CL G01B 11/27 (2006.01.01) G06T 7/70 (2017.01.01) G01B 11/00 (2006.01.01)
CPC G01B 11/27(2013.01) G01B 11/27(2013.01) G01B 11/27(2013.01) G01B 11/27(2013.01)
출원번호/일자 1020180124041 (2018.10.17)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-2041881-0000 (2019.11.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 보정승인간주
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.17)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종안 대전광역시 유성구
2 김재완 대전광역시 유성구
3 이재용 충청북도 청주시 상당구
4 우제흔 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1025127-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2018-0071095-47
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0241329-52
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0532640-48
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0532608-97
10 등록결정서
Decision to grant		 2019.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0755260-67
11 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2019.11.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5036264-11
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고정판 및 이동판을 포함하고 3 자유도 위치 정렬을 제공하는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 고정판에 장착된 X-Y-Θ 센서 헤드;상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 2차원 절대 위치 스케일; 상기 X-Y-Θ 센서 헤드가 촬상한 상기 2차원 절대 위치 스케일의 스케일 이미지를 분석하여 상기 스테이지의 상기 이동판의 3 자유도 운동의 위치를 추출하는 신호 처리부; 및상기 이동판의 변위량으로 상기 스테이지를 구동하는 스테이지 구동부를 포함하고,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고, 상기 1차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 스테이지는 XYΘ 스테이지 또는 UVW 스테이지인 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 이동판의 하부면에 노출되도록 장착되는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 이동판의 변위량은 상기 스테이지의 3 자유도 운동의 위치에 기반하고,3자유도 운동의 위치는 두 개의 병진 운동과 하나의 회전 운동을 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
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삭제
6 6
제 1항에 있어서,상기 데이터 섹션, 상기 중립 섹션, 및 상기 클락 섹션 각각은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제1 상태(“0”)를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제2 상태(“1”)를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
7 7
제6 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
8 8
고정판 및 이동판을 포함하고 3 자유도 위치 정렬을 제공하는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 고정판에 장착된 X-Y-Θ 센서 헤드; 상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 2차원 절대 위치 스케일; 상기 X-Y-Θ 센서 헤드로부터 상기 2차원 절대 위치 스케일의 스케일 이미지를 분석하여 상기 스테이지의 3자유도 운동의 위치를 추출하는 신호 처리부; 및 상기 스테이지의 변위량으로 상기 스테이지를 구동하는 스테이지 구동부를 포함하는 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법에 있어서,상기 스테이지의 이동판의 초기 위치를 측정하는 단계;상기 스테이지의 이동판의 목표 위치와 상기 초기 위치의 차이로 상기 스테이지의 변위량을 설정하는 단계;상기 변위량에 기반하여 상기 스테이지의 구동량을 산출하는 단계; 및상기 구동량으로 상기 스테이지의 모터를 각각 구동하는 단계;를 포함하고,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고, 상기 1차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 스테이지가 이동한 후 상기 스테이지의 현 위치를 측정하여 상기 목표 위치에 도달을 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법
10 10
고정판 및 이동판을 포함하고 3 자유도 위치 정렬을 제공하는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 고정판에 장착된 X-Y-Θ 센서 헤드;상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 2차원 절대 위치 스케일; 상기 X-Y-Θ 센서 헤드가 촬상한 상기 2차원 절대 위치 스케일의 스케일 이미지를 분석하여 상기 스테이지의 3 자유도 운동의 위치를 추출하는 신호 처리부; 상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 기판의 정렬 마크를 검사하는 적어도 하나의 비전 카메라; 및상기 기판의 상기 정렬 마크와 상기 정렬 마크의 최종 정렬 위치의 차이에 기반한 상기 스테이지의 구동량으로 상기 스테이지를 구동하는 스테이지 구동부를 포함하고,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고, 상기 1차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되는 것을 특징으로 3 자유도 평면 정렬 장치
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제10 항에 있어서,상기 스테이지는 XYΘ 스테이지 또는 UVW 스테이지인 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
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제10 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 이동판의 하부면에 노출되도록 장착되는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
13 13
제10 항에 있어서,3자유도 운동의 위치는 두 개의 병진 운동과 하나의 회전 운동을 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
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삭제
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제10 항에 있어서,상기 데이터 섹션, 상기 중립 섹션, 및 상기 클락 섹션 각각은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제1 상태(“0”)를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제2 상태(“1”)를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
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제15 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치
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고정판 및 이동판을 포함하고 3 자유도 위치 정렬을 제공하는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 고정판에 장착된 X-Y-Θ 센서 헤드; 상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 2차원 절대 위치 스케일; 상기 X-Y-Θ 센서 헤드가 촬상한 상기 2차원 절대 위치 스케일의 스케일 이미지를 분석하여 상기 스테이지의 3 자유도 위치를 추출하는 신호 처리부; 상기 스테이지의 상기 이동판에 장착된 기판의 정렬 마크를 검사하는 적어도 하나의 비전 카메라; 상기 기판의 상기 정렬 마크의 3 자유도 위치와 상기 정렬 마크의 최종 3 자유도 위치의 차이에 기반한 상기 스테이지의 구동량으로 상기 스테이지를 구동하는 스테이지 구동부를 포함하는 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법은:상기 X-Y-Θ 센서 헤드와 상기 신호 처리부를 사용하여 상기 2차원 절대 위치 스케일의 3 자유도의 초기 위치를 측정하는 단계;상기 비전 카메라를 사용하여 상기 기판의 정렬 마커의 3 자유도의 초기 위치를 측정하는 단계;상기 기판의 정렬 마커의 3 자유도의 초기 위치와 상기 기판의 정렬 마커의 3 자유도의 최종 정렬 위치의 차이로 변위량을 설정하는 단계;상기 2차원 절대 위치 스케일의 초기 위치와 상기 변위량을 이용해 상기 스테이지의 구동량으로 변환하는 단계; 상기 구동량으로 상기 스테이지의 모터를 각각 구동하는 단계; 및상기 X-Y-Θ 센서 헤드와 상기 신호 처리부를 사용하여 상기 스테이지의 이동판의 3 자유도의 현 위치를 측정하는 단계를 포함하고,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 테이터 셕션(D)의 교점에 마킹되는 것을 특징으로 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법
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제17항에 있어서,상기 스테이지의 이동판의 3 자유도의 현 위치가 상기 2차원 절대 위치 스케일의 3 자유도의 최기 위치와 상기 변위량에 의하여 주어지는 목표 위치인지를 판단하는 단계; 상기 비전 카메라를 사용하여 상기 기판의 정렬 마커의 3 자유도의 현 위치를 측정하는 단계; 및기판의 정렬 마커의 3 자유도의 현 위치와 상기 최종 정렬 위치의 차이를 비교하는 단계; 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3 자유도 평면 정렬 장치의 동작 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN111060003 CN 중국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN111060003 CN 중국 DOCDBFAMILY
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