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Si 원료분말, SiO2 및 이테르븀계 첨가제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계;상기 혼합물을 기설정된 형상의 성형체로 성형하는 단계; 및상기 성형체를 질화반응시키는 단계를 포함하고,상기 성형체를 질화반응시키는 단계는,Si 원료분말이 용융되지 않도록, 반응온도(℃)가 1000 내지 1400℃이고,상기 반응온도에 도달하기까지의 승온속도가 1℃/min 내지 20℃/min인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 이테르븀계 첨가제는 산화이테르븀, 질산이테르븀, 황산이테르븀, 초산이테르븀 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 혼합물에서 상기 이테르븀계 첨가제의 질량 퍼센트(wt%)는 2wt% 내지 20wt%인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 혼합물에서 상기 SiO2의 질량 퍼센트(wt%)는 0
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제1항에 있어서,상기 혼합물을 기설정된 형상의 성형체로 성형하는 단계는,슬립캐스팅, 젤캐스팅, 원심캐스팅, 일축성형법, 삼축성형법, 정수압성형법 중 어느 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 성형체를 질화반응시키는 단계는 흑연로에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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