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이용하고자 하는 제르니케 다항식의 차수 범위(번째 ~ 번째)를 설정하는 단계(S100);변형거울(200)의 초기 상태에서의 스트렐 비율을 측정하는 단계(S200);j번째 제르니케 다항식의 계수()에 추가적인 구동신호()를 인가하여 상기 변형거울(200)을 구동시킨 후, 구동된 상기 변형거울(200)의 스트렐 비율을 측정하는 단계(S300); 및초기 상태에서의 스트렐 비율과 구동된 상기 변형거울의 스트렐 비율로부터 상기 j번째 제르니케 다항식의 계수()를 계산하는 단계(S400);를 포함하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 1항에 있어서,상기 설정하는 단계(S100)에서 설정된 이용하고자 하는 제르니케 다항식의 계수들( 내지 )을 계산하도록, 상기 측정하는 단계(S200) 내지 상기 계산하는 단계(S400)를 반복하는 단계(S500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 2항에 있어서,상기 반복하는 단계(S500)에서 도출된 제르니케 다항식의 계수( 내지 )를 이용하여, 하기의 수학식과 같이 상기 변형거울(200)을 평활화하는 구동신호 행렬()을 도출하는 단계(S600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 3항에 있어서,상기 도출하는 단계(S600)에서 도출된 구동신호 행렬()를 상기 변형거울(200)에 입력하여, 상기 변형거울(200)을 평활화하는 단계(S700);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 1항에 있어서,상기 측정하는 단계(S300)는j번째 제르니케 다항식에 추가적인 구동신호()를 인가하여 상기 변형거울을 구동시키는 단계(S310);구동된 상기 변형거울의 스트렐 비율을 측정하는 단계(S320); 및구동된 상기 변형거울의 j번째 제르니케 다항식에 추가적인 구동신호()를 인가하여 상기 변형거울을 초기 상태로 복원시키는 단계(S330);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 1항에 있어서,상기 계산하는 단계(S400)는 초기 상태에서의 스트렐 비율과 구동된 상기 변형거울의 스트렐 비율로부터, 하기의 수학식을 이용하여 상기 j번째 제르니케 다항식의 계수()를 계산하는 것을 특징으로 하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법이 저장된 신호처리기
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제 7항의 신호처리기(100);상기 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 방법에 의해, 상기 신호처리기(100)에서 계산된 구동신호에 따라 평활화되는 변형거울(200);상기 변형거울(200)의 스트렐 비율을 측정하는 파면측정센서(300); 및상기 변형거울(200)에서 반사된 영상을 획득하는 영상획득카메라(400);를 포함하는 스트렐 비율을 이용한 변형거울의 평활화 장치
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