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내부에 대상물이 수용되는 수용공간이 구비되는 본체; 및상기 본체의 일측에 제공되고, 상기 수용공간의 공기가 흡입되어 배출되기 위한 노즐을 포함하고,상기 본체는,외피; 및상기 외피의 내측에 제공되고, 방전되어 상기 대상물을 향해 플라즈마를 발생시키며, 유연한 전극부를 포함하고,상기 본체는 상기 전극부의 내측에 제공되고 통기성을 가지는 통기부재를 더 포함하고, 상기 수용공간의 공기가 흡입되어 상기 노즐을 통해 배출되면, 상기 본체가 수축함으로서, 상기 전극부가 상기 대상물 측으로 접근되어 상기 통기부재가 상기 대상물에 접하는 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 본체가 수축하여 상기 통기부재가 상기 대상물에 접하면, 상기 전극부와 상기 대상물 사이의 간격은 상기 통기부재의 두께로 유지되는 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 전극부는,서로 교대로 배치되는 제 1 전극 및 제 2 전극; 및상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 각각을 감싸고, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극을 이격시키는 절연체를 포함하는 플라즈마 발생장치
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 전극의 높이 및 상기 제 2 전극의 높이는 서로 다른 높이에 위치하여, 두 개의 인접한 상기 제 2 전극 사이에는 상기 서로 다른 높이에 의한 공간이 형성되고, 두 개의 인접한 상기 제 1 전극 사이에도 상기 서로 다른 높이에 의한 공간이 형성되는 플라즈마 발생장치
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각각 제 1 시트와, 상기 제 1 시트와 대향하는 제 2 시트를 포함하는 복수의 단위모듈을 포함하고,상기 복수의 단위모듈은 서로 결합되어 각각의 상기 제 1 시트가 이루는 제 1 시트 군과 각각의 상기 제 2 시트가 이루는 제 2 시트 군 사이에 대상물이 수용되는 수용공간이 구획되고,상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트 각각은,외피; 및상기 외피의 내측에 제공되고, 방전되어 상기 대상물을 향해 플라즈마를 발생시키며, 유연한 전극부를 포함하고,상기 복수의 단위모듈 중 적어도 하나는, 상기 제 1 시트 및 상기 제 2 시트 중 어느 하나에 제공되어 상기 수용공간의 공기가 흡입되어 배출되기 위한 노즐을 포함하고,상기 수용공간의 공기가 흡입되어 상기 노즐을 통해 배출되면, 상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트가 수축하여 상기 전극부가 상기 대상물 측으로 접근하는 플라즈마 발생장치
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트는 직사각형 형태를 가지고,상기 복수의 단위모듈 중 서로 인접한 두 개의 단위모듈은,어느 하나의 단위모듈의 상기 제 1 시트와 다른 하나의 단위모듈의 상기 제 1 시트가 서로 대향되는 긴 변에서 결합되고,어느 하나의 단위모듈의 상기 제 2 시트와 다른 하나의 단위모듈의 상기 제 2 시트가 서로 대향되는 긴 변에서 결합되고,어느 하나의 단위모듈의 상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트는 서로 대향되는 짧은 변에서 결합되고,다른 하나의 단위모듈의 상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트는 서로 대향되는 짧은 변에서 결합되는 플라즈마 발생장치
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제 8 항에 있어서,상기 복수의 단위모듈 중 최외곽에 위치한 단위모듈은,상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트가 최외곽에 위치한 서로 대향되는 긴 변에서 결합되는 플라즈마 발생장치
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