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베이스판;상기 베이스판에 하부가 고정되어 설치되고, 상부가 회전이 가능한 회전스테이지;상기 회전스테이지의 상부에 결합되고, 수평 및 기울기 조정이 가능한 셋팅스테이지;상기 셋팅스테이지의 상부에 결합되고, 검사대상이 상단에 고정되는 고정스테이지;상기 베이스판에 일단부가 고정되어 설치되고, 일측에 결합된 절단유닛을 상하로 이동시키는 이동유닛이 장착된 이동유닛 하우징; 및상기 검사대상을 관찰하기 위한 관찰유닛;을 포함하고,상기 절단유닛이 토크렌치를 사용하여 상기 검사대상의 결합면에 양품시료의 최대허용응력을 인가하며 하강하고, 상기 관찰유닛을 통해 관찰한 상기 결합면의 균열생성여부에 따라 불량품의 판별이 가능하며,상기 셋팅스테이지는,상기 회전스테이지의 상부에 설치된 수평스테이지; 및상기 수평스테이지의 상부에 설치된 고니오스테이지;를 포함하고,상기 회전스테이지, 상기 수평스테이지 또는 상기 고니오스테이지의 작동에 의한 상기 고정스테이지의 수평 및 기울기 조정으로 상기 절단유닛의 끝단에 장착된 칼날이 상기 검사대상의 결합면에 접촉하는 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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제1항에 있어서,상기 이동유닛은,정해진 응력의 크기에 맞도록 토크를 가하기 위한 토크렌치; 및상기 토크렌치의 스크류의 외면에 결합되고, 일측에는 상기 절단유닛이 결합되며, 상기 토크렌치로부터 가해진 토크에 의해 회전하면서 상하로 이동하는 이동 가이드;를 포함하고,상기 토크렌치의 작동을 통해 상기 절단유닛이 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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제1항에 있어서,상기 관찰유닛은,상기 베이스판의 상단에 일단부가 고정되어 설치된 카메라 지지대;상기 카메라 지지대의 상단에 결합된 카메라; 및상기 고정스테이지와 상기 카메라의 사이에 위치하는 편광필름;을 포함하고,상기 카메라를 통해 상기 검사대상의 관찰이 가능한 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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제4항에 있어서,상기 편광필름은 회전이 가능한 편광필름 회전스테이지의 일측면에 부착되어 있고,상기 편광필름 회전스테이지는 상기 베이스판의 상단에 일단부가 고정되어 설치된 편광필름 지지대의 상단에 결합되어 있으며,상기 편광필름 회전스테이지의 작동을 통해 상기 편광필름의 회전을 조정하면서 상기 검사대상의 관찰이 가능한 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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제4항에 있어서,상기 관찰유닛은 상기 고정스테이지의 양측에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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제1항에 있어서,상기 검사대상은 광학적 접착방식으로 접착되어 단일 매질 형태의 결합면을 갖는 마이크로칩인 것을 특징으로 하는 결합면 검사장치
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