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일단은 구동부에 결합되고 타단은 하부 블록에 결합되어 상기 구동부에 작용하는 힘에 의한 3방향의 병진운동과 3방향의 회전운동 중 2방향의 회전운동은 허용하고, 3방향의 병진운동과 1방향의 회전운동은 상대적으로 구속시키는 힌지유닛을 포함하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구동부의 하면의 중심에 결합되는 축형 유연체를 더 포함하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 2에 있어서,상기 힌지유닛은,상기 구동부에 연결되는 이중노치힌지(Double Right-Circular Notch Hinge);상기 이중노치힌지에 연결되는 중간블록;상기 중간블록과 상기 하부 블록 간에 연결되는 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 3에 있어서,상기 판스프링은 상기 구동부가 이루는 평면에 해당하는 2방향의 병진운동방향에 대해 높은 강성을 가지는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 4에 있어서,상기 힌지유닛은 대칭적으로 둘 이상 마련되는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 5에 있어서,상기 힌지유닛은 4개인 것으로 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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청구항 6에 있어서,상기 이중노치힌지는 상기 구동부의 회전운동 중 상기 구동부가 이루는 평면에 대해 수직한 축을 기준으로 한 회전 이외의 상기 구동부가 이루는 평면 상의 축에 대한 회전을 허용하는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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8
청구항 7에 있어서,상기 힌지유닛이 일정한 기울기를 가지고 상기 구동부에 결합되며,상기 힌지유닛의 기울기 방향과 상기 축형 유연체의 길이 방향의 교차점은 상기 구동부 내에 형성되며, 상기 교차점이 상기 구동부의 회전 중심이 되는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치
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일단은 구동부에 결합되고 타단은 하부 블록에 결합되는 힌지유닛을 포함하는 고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치가 상기 구동부에 작용하는 3방향의 병진운동과, 상기 구동부가 이루는 평면에 대해 수직한 축을 기준으로 한 회전 방향에 대해 최대의 강성을 갖도록 설계하여, 상기 가이드 장치가 상기 구동부의 한 방향의 회전운동과 3방향의 병진운동은 구속하고, 두 방향의 회전운동을 허용할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는,고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치의 설계 방법
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