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노출 전극(352)과 비노출 전극(351)이 일정한 간격으로 배치되는 유전체 바디(340);상기 유전체 바디(340)의 양단면에 배치되는 벽 부재(360); 및상기 노출 전극(352)이 외부물질에 노출되지 않도록 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 제 1 간격으로 이격되어 배치되는 커버(370);를 포함하며,상기 커버(370)는 개폐 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 간격은 상기 노출 전극(352)의 높이에 2배한 값보다 작은 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 1 항에 있어서,상기 노출 전극(352) 및 비노출 전극(351)에 전압 전원을 공급하는 전원 공급기(380); 및 상기 전원 공급기(380)를 제어하는 제어기(390);를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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노출 전극(352)과 비노출 전극(351)이 제 1 간격으로 배치되는 유전체 바디(340);상기 유전체 바디(340)의 양단면에 배치되는 벽 부재(360); 상기 노출 전극(352)이 외부물질에 노출되지 않도록 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 제 2 간격으로 이격되어 배치되는 커버(370); 상기 유전체 바디(340) 내에 상기 비노출 전극(351)과 제 3 간격으로 배치되어 전자력의 세기 조절을 통해 상기 커버(370)를 개폐하는 전자석부(400); 및상기 전자석부(400)에 전원을 공급하는 제 1 전원 공급기(450);를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서,상기 제 2 간격은 상기 노출 전극(352)의 높이에 2배한 값보다 작은 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서,상기 커버(370)는 개폐 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서,상기 노출 전극(352) 및 비노출 전극(351)에 전압 전원을 공급하는 제 2 전원 공급기(380); 및 상기 제 1 전원 공급기(380) 및 제 2 전원 공급기(450)를 제어하는 제어기(390);를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 커버(370)는 상기 전자력의 세기 조절에 따라 일단은 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 상기 제 2 간격을 갖고 타단은 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 상기 제 2 간격과 다른 제 4 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 간격은 상기 노출 전극(352)의 높이에 2배한 값보다 작고, 상기 제 4 간격은 영(0)과 상기 노출 전극(352)의 높이에 1/2배한 값사이에 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서,상기 전자석부(400)는 상기 비노출 전극(351)의 하단에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 5 항에 있어서,상기 커버(370)는,양단에 형성되는 지지대(710); 및상기 지지대(710)의 일면에 설치되는 자석부(720);를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 커버(370)는 내열 절연체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치
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유전체 바디(340)내에 노출 전극(352)과 비노출 전극(351)이 일정한 간격으로 배치하는 단계;상기 유전체 바디(340)의 양단면에 벽 부재(360)를 배치하는 단계; 및상기 노출 전극(352)이 외부물질에 노출되지 않도록 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 제 1 간격으로 이격되게 커버(370)를 배치하는 단계;를 포함하며,상기 커버(370)는 개폐 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치의 조립 방법
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유전체 바디(340)내에 노출 전극(352), 비노출 전극(351) 및 전자석부(400)를 서로 일정한 간격으로 배치하는 단계;상기 유전체 바디(340)의 양단면에 벽 부재(360)를 배치하는 단계; 및상기 노출 전극(352)이 외부물질에 노출되지 않도록 상기 유전체 바디(340) 및 벽 부재(360)의 표면으로부터 제 1 간격으로 이격되게 커버(370)를 배치하는 단계;를 포함하며,상기 전자석부(400)는 전자력의 세기 조절을 통해 상기 커버(370)를 개폐하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 구동기 보호 장치의 조립 방법
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